中古 EBARA EPO-2228 #293658079 を販売中

EBARA EPO-2228は、生産環境で優れた表面仕上げを提供するように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、片面と両面の両方で高精度の微小耐性表面を生成することができます。このユニットは、高効率の研削とラッピング機、ならびに最終仕上げを適用するための精密研磨ヘッドで構成されています。粉砕機械は縦に方向づけられたテーブルおよび作り付けの粉砕車輪を特色にします；それは高精度および再現性の平らな、地上の表面を作り出すことができます。ラッピングマシンは、2つのフラット、独立して制御ラッピングプレートを収容します。これにより、ウェーハ上に完全に平行な平面が形成されます。機械の磨く頭部は非常に磨かれた表面の終わりを提供することができます；ヘッドはロータリーテーブルに取り付けられ、ウェーハ全体に細かい研磨を施すことができます。強力な真空ツールは、研磨残留物の効率的な除去を保証します。アセット全体はカスタムソフトウェアによって駆動され、完全に自動化された正確な研削、ラッピング、研磨サイクルを可能にします。このモデルによって提供されるオートメーションのレベルは比類のないです；装置は完全な結果を保障するために表面の欠陥および気泡を自動的に検出することができます。EBARA EPO2228は人間の介入を最小限に抑えて生産の最大速度を提供するように設計されています。システムの狭いプロファイルは、既存の生産ラインへの統合に最適であり、その効率と信頼性により、幅広いウェーハ仕上げアプリケーションに最適です。このユニットは、ウェーハ表面仕上げの面で最高速度と人間の干渉を最小限に抑え、優れた結果を提供することを約束します。