中古 EBARA EPO-2226D #293749187 を販売中

EBARA EPO-2226Dは最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。独自の設計により、1本のスピンドルのみを使用して、高精度、シングルパス研削、大型ウエハ（直径200mmまで）のラッピング、研磨が可能です。スピンドルはウェーハから離れることがないため、各プロセス間で高価で複雑で不正確な機械的転送を必要としません。従ってより大きい正確さを可能にし、サイクル時間をかなり減らします。EPO-2226Dは、最大200Nmのトルクを供給できる大容量スピンドルモータによって駆動されます。その複数の速度制御は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスのすべてのタイプをサポートしています。これにより、プロセスが可能な限り最高の歩留まりに達するための要件に応じて、低、中、または高速研削、ラッピング、研磨の適用が可能になります。このマシンは、シーメンスPLCと19 インチHMIによって駆動され、最適な動作と安全性を継続的に監視されます。これにより、データの入力と操作が容易になり、保守と運用を容易にするための統合システムが作成されます。EBARA EPO-2226Dの高精度クローズドループサーボ制御システムは、非常に正確な結果と再現性に貢献します。これはACサーボモータによって実現され、変化する状況に素早く対応することができます。また、2つの高調波ドライブを使用して、センタリングと総圧力を制御しながら、手動で校正する必要のない複数のディスク認識を可能にします。EPO-2226Dは集塵機能と粒子監視機能を備えた完全なエンクロージャを備えており、過酷な環境での使用に適しています。安全衛生を向上させるために、集塵システムの動作を監視する圧力センサーと流量センサー、および追加の保護および集塵制御要素の様々な設計に統合されています。EBARA EPO-2226Dの全体的な利点は、正確で高収量の高速サイクルタイムであり、安全でクリーンな作業環境を実現します。この機械は、信頼性の高い再現性のある性能を提供するように設計されており、長期的な生産性と安定性を実現しています。