中古 EBARA EPO-222 #9293808 を販売中

EBARA EPO-222は、ウェーハとウェーハのエッジの精密研削、ラッピング、研磨用に設計された完全自動化された装置です。270mmの研磨・研磨面積を持つハイスループット機で、大量のウエハ生産をコスト効率よく最適に処理できます。このマシンは、300mmおよび300mm ワイドI/Oウェーハの両方の処理に最適であり、一般的なすべてのチップタイプを処理することもできます。このシステムには7。5 HP、 2800 rpmのメインドライブモーターが搭載されており、振動や共振を伴わずに最適な研削、ラッピング、研磨性能を提供します。また、調整可能な張力機を備えた2段ベルトドライブユニットを備えており、過負荷による損傷のリスクを最小限に抑えることができます。EBARA EPO222は、正確な位置決めと正確な研削能力を支援する精密な線形位置決めツールを備えたプログラム可能な高速スピンドルを備えています。スピンドルは高速マイクロステッピングモータによって駆動され、滑らかでさらにウェーハ研削を容易にします。これは、広範囲の材料に対応するためにスピンドル速度を調整するための統合された可変周波数ドライブ（VFD）によって補完されます。このマシンには、高速かつ正確なラッピング操作を実現する自動階段フィードモデルを備えた中央ラッピング資産も含まれています。また、振動モータを備えた2段階の研磨装置を内蔵しており、ウェーハのエッジと表面で非常に高い表面仕上げを実現しています。ラッピングおよび研磨システムには、粉塵抽出用の統合真空ユニットが含まれており、クリーンで信頼性の高い動作を保証します。EPO 222には最先端のソフトウェアインターフェイスが付属しており、研削速度、パワー、パス数、ラッピング角度、研磨圧力などのシステム設定を完全にカスタマイズできます。タッチスクリーンモニターと強力なHMI （Human Machine Interface）制御を備えており、プロセスの簡単な操作と監視が可能です。全体として、EPO222は、無駄を最小限に抑えた優れた性能を提供する強力で費用対効果の高い精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。強力な7。5 HPメインドライブモーター、高速スピンドル、効果的な階段フィードツール、洗練されたHMIを備えています。これにより、最大の表面品質で大量のウェハ生産を効率的に処理するための理想的な資産となります。