中古 EBARA EPO-222 #9226638 を販売中

EBARA EPO-222は、株式会社エバラが開発した最先端のウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、半導体製造プロセスのために効率的にウェーハを研削、ラップ、研磨するように設計されています。このユニットは、精密なウェーハフィードおよびトラッキングシステム、研磨ヘッド調整システム、および幅広い研磨および研削消耗品ソリューションを備えた、完全に自動化されたダイヤモンドおよび化学機械式研磨モジュールを備えています。この機械は、さまざまなウエハ径と形状を研削、ラップ、研磨するために使用できます。革新的なウェーハフィードとトラッキングシステムにより、研磨パッド上のウェーハの正確な位置決めが可能です。追加のフィードバックセンサーは、表面粗さや平坦度などの仕上げパラメータを検出し、ウェーハの特徴と研磨品質を正確に制御できます。マシンの内部監視ツールは、常にパラメータを記録し、プロセスの完全なトレーサビリティを提供し、品質基準が維持されるようにしています。EBARA EPO222は、最大500rpmの速度で最大12個のウェーハを同時に処理できるため、高い生産性を誇っています。アセットは、優れた機械的安定性を提供するように設計された堅牢な材料とコンポーネントを使用して構築され、優れた研削、ラッピング、研磨結果を保証します。また、強力なメンテナンスフリーの吸引モーターと堅牢な構造を備えており、一貫したプロセス再現性と最高品質の結果を得るための振動を最小限に抑えるように設計されています。さらに、このモデルには、研磨剤、研削フィルム、フィルター要素などの消耗品やアクセサリーのフルスイートも付属しています。また、高度なユーザーインターフェイスを備えており、簡単なプログラミングとジョブレシピへの簡単なアクセスを可能にします。これにより、オペレータは生産のセットアップを合理化し、プロセスの品質を向上させることができます。EPO 222ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、高度な技術を統合することにより、プロセス性能を制御し、優れたウェーハ品質を提供する効率的な方法を提供します。