中古 EBARA EPO-222 #9203985 を販売中

EBARA EPO-222は、半導体業界で使用されるウェーハの精密研磨用に、株式会社エバラが設計・製造したデュアルスペースウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。ウェーハの両面に優れた仕上がりを実現するため、研削、ラッピング、研磨を多用しており、LED、レーザー、MEMなどの先進部品の製造など、幅広い工程での使用に適しています。EBARA EPO222システムはデュアルワークチャンバーで構成され、オペレータは同じユニット内で2つの異なる同時プロセスを実行することができます。高性能スピンドル、研削盤、ラッププレートを搭載し、フラットおよびラウンドパーツの製造精度を最大限に高めています。研削・研磨工程は、精密な圧力制御をはじめとする先進技術を駆使し、高い均一性と再現性を確保し、精密な表面仕上げと再現性のある部品を製造することができます。EPO 222マシンには、0。001 mmの精度で部品を測定できる自動ビジョンツールも付属しています。これにより、アセットはシフト、丸み、半径の誤差を正確に検出して修正することができ、高品質な部品の迅速な生産を可能にします。さらに、このマシンには安全監視モデルが付属しており、オペレータはプロセスの状態を監視し、プロセス環境の安全性を確保することができます。この装置は、0〜999 RPMの調整可能な速度と、0〜25kgの調整可能な砥石圧力を備えているため、オペレータは各プロセスに必要な条件に正確に対応できます。また、機械に安全で信頼できる操作を保障する作り付けの自己点検システムがあり、自動プログラム機能はオペレータが生産プロセスを容易にプログラムすることを可能にします。全体として、EPO222はオペレータの精度、精度、および高品質のウェーハの生産に柔軟性を提供します。