中古 EBARA EPO-222 #9083271 を販売中

EBARA EPO-222は、高度な半導体事業のニーズの高まりに対応するために設計された、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高度な研削アルゴリズムを採用し、1時間あたり最大500個のスピードで小径ウェーハ上に高精度の単結晶表面を生成します。EBARA EPO222ユニットは、多数のアグレッシブな研磨と研磨オプションを備えた汎用性のために設計されており、正確な高速ラッピングを提供し、ウェーハ表面仕上げの高品質な結果を保証します。同一フレームワークで多種多様な研削盤・研磨機に対応可能で、効率的な工程切り替えと複数の研削盤・研磨機を1台の機械から取り付けることができます。EPO 222の複雑でない構造は簡単な取付け、操作および維持を保障します。機械はプロセスパラメータを制御し、進捗を監視するのに使用される15"色のタッチスクリーンが装備されています。プロセス全体を継続的に監視し、最高の結果を維持しながら、調整を必要とする研削、ラッピング、研磨パラメータを簡単かつ迅速に行うことができます。EPO222の研削/ラッピングヘッドは、ブラシレスDCモータによって駆動され、正確な精度と一定の速度を保証します。先進スピンドルベアリングツールは剛性と剛性を維持し、モーションコントロール技術は正確な同心性を保証します。このアセットには、精密な厚さ制御のために0。0001 mmの解像度を持つ高精度スケールも含まれています。EPO-222には、ジャンクションビジョン、欠陥検出、並列検査などの高度な技術も搭載されています。ジャンクションビジョンモデルは、最適な性能を確保するために、ジャンクションの深さと形状を自動的に測定および監視します。欠陥検出装置は、ウェーハ表面のピット、粒子、歪みなどのすべての異常をリアルタイムで検出、ローカライズ、分類し、品質の問題や欠陥が発生するのを防ぎます。並列検査システムは、ウェーハごとに自動アライメントを行い、ロット間の均一性を確保します。EBARA EPO 222は、さまざまな生産ニーズに対応できる強力で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。その高度な機能と技術により、機械はメンテナンスとダウンタイムを最小限に抑えて正確で高品質な結果を提供できます。