中古 EBARA EPO-222 #293821171 を販売中

EBARA EPO-222
ID: 293821171
ウェーハサイズ: 8"
CMP System, 8".
EBARA EPO-222は、誘電体、金属、シリコン、石英など、幅広い材料の平面表面をラッピング、研磨するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは多目的でユーザーフレンドリーで、さまざまな種類の研磨プロセスに柔軟性を提供します。このユニットは2つの主要コンポーネントで構成されています。電気機械スピンドル付きのポリッシャーと統合された研磨および研磨ステーション、およびディスク型ウェーハ用の角度付きホルダーです。研磨ステーションは、リング状の領域内でウェーハを回転・振動させ、硬質材料と軟質材料の両方を研磨・研磨することができます。スピンドルは、異なるハードおよびソフト材料のための100から500 rpmまでの速度で動作するだけでなく、さまざまな研削および研磨タスクのために、必要に応じて最適なカスタマイズを可能にします。EBARA EPO222機には、キャスターに取り付けられた堅牢なフレームが装備されており、動きやすさを実現しています。これにより、小型および大型の永続的またはモバイルアプリケーションに最適です。さらに、工程に影響を及ぼす可能性のある研磨および研磨工程中に蓄積する微粒子から装置を保護するための統合された研磨および研削フィルターが含まれています。EPO 222のユーザーフレンドリーなインターフェースにより、さまざまなウェーハ研削および研磨ニーズのためのプログラムを簡単にセットアップできます。インターフェイスを通して、ユーザーは磨くことおよび粉砕の選択、材料の選択、速度の設定および保持時間の異なったレベルを選ぶことができます。さらに、インターフェイスは、ユーザー自身のプログラムやデータの便利なインポートを提供します。このツールはさらに、研磨後の活動を完全に制御することができます。これには、速度、速度変化、消費電力、およびテスト結果を監視する機能、および毎日のメンテナンスのスケジューリングが含まれます。オペレータは、ボタンをクリックすると、さまざまなメンテナンスツールにアクセスすることもできます。EPO222資産は、研磨および研削作業のための信頼性の高い、費用対効果の高いソリューションです。フレキシブルな設計とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、オペレータは高速、電力、精度を確保しながら、高性能な部品を厳格な基準に合わせて作成することができます。
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