中古 EBARA EPO-222 #293816528 を販売中

EBARA EPO-222
ID: 293816528
ウェーハサイズ: 6"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 6".
EBARA EPO-222は、半導体などの微細部品の最終精密加工に低コストのソリューションを提供するウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、金属、セラミックス、ガラス、プラスチックなど、さまざまな材料で高精度の研削、ラッピング、研磨結果を得るように設計されています。EBARA EPO222は、サイズや形状に関係なく、すべての部品でサブミクロン仕上げを行うことができるシングルディスク研磨および研磨プロセスを採用しています。汎用性、高精度な表面仕上げ、様々な研磨レベルを可能にする豊富な機能を備えています。0。1ミクロンから3mmまでの様々な厚さの材料の均一な不動態化と平面化のための電動回転テーブル、精密制御と再現性を備えています。電動ロータリーテーブルは、ウェーハの正確かつ再現性のある回転を提供し、1回の操作で大量の部品の処理を可能にします。この機械は精密な切断刃を使用して研磨し、単一のパスで大きなサンプルを処理することができます。可変速度制御により、仕上げ公差と並列公差の両方で一貫した結果が保証されます。マイクロメートル調整可能なベアリングは、研磨中のウェーハをサポートし、反復可能な結果を得ることができます。このツールには、効率的なプラテン交換のための完全に自動化されたプラテン交換アセットもあります。スピンドル駆動安全モデルと自動アンロード装置は、怪我のリスクを低減し、効率を向上させます。このシステムは、高い精度と信頼性を維持しながら、コスト効率の高い使用のために、さまざまなオートメーション構成に適応できます。このユニットには、パスワード制御、マルチステップ生産節約、最大5段階の研削シーケンス制御、プリセット研削、超精密研削、および自動操作記録など、洗練されたユーザーフレンドリーな機能が搭載されています。これらの機能は、時間を節約するだけでなく、パフォーマンスと品質も向上します。さらに、機械は環境に優しいように設計されています。密閉された研削室は、操作中に汚染物質が大気中に放出されないことを保証します。EPO 222は、高精度の研削、ラッピング、研磨ニーズに最適なソリューションです。
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