中古 EBARA EPO-222 #293809026 を販売中

EBARA EPO-222ウエハ研削、ラッピング&研磨装置は、直径200mmまでのウエハを正確に研削、ラップ、研磨するために設計された最先端のシステムです。CMP（化学機械研磨）やMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）などの用途に最適です。ディジタルサーボモータを搭載し、研削・研磨作業を精密に制御します。ウェーハの位置決めとローディング用のロータリーテーブルを備えています。テーブルは容易にウェーハの積み下ろしのための望ましい位置に達するために調節することができます。粉砕車輪は速度およびタイミングで調整することができる三相ACモーターによって運転されます。ホイールには半円形の研削ホイールとそれに2つの側面があります-研削のための1つの側面と研磨のための1つの側面。車輪は適用範囲が広いカプラーによってドライブモーターに結合されます。ラッピングホイールは、速度制御された独立した三相ACモータによって駆動されます。これは、ラップする材料の種類に応じて、異なるグリットサイズのホイールで構成されています。ホイールは研削ホイールに同期され、ウェーハの上部と下部の両方を同時にラップすることができます。磨く車輪は別の三相ACモーターによって運転され、利用できる研摩媒体の大きい変化があり、ぬれたおよび乾燥した磨くことを行うことができます。車輪はまた適用範囲が広いカプラーによってドライブモーターに結合されます。この機械は、研削および研磨ホイールの一定の速度を提供することにより、時間の経過とともに精度と再現性を維持するように設計されています。研削および研磨プロセスの粗さは、研削および研磨媒体の送り速度を調整することによって制御することができます。このツールは、耐食性と簡単な洗浄のためのステンレススチールハウジングに囲まれています。ハウジングには、安全のためのほこり、煙、霧のためのろ過アセットが組み込まれています。内部には、強力な空気循環モデルがワークゾーンから塵の粒子を除去します。EBARA EPO222は、直径200mmまでの研削、ラッピング、研磨用の信頼性の高い効率的な装置です。このシステムは、一貫した再現性のある研削と研磨プロセスを可能にします。このユニットは、強力なサーボモータ、調整可能な回転テーブルおよびラッピングホイール、および複数の研磨媒体を備えており、CMPおよびMEMSアプリケーションに理想的なソリューションを提供します。