中古 EBARA EPO-222 #293775100 を販売中

EBARA EPO-222は、ウェーハの研削、ラッピング、研磨用に設計された精密表面仕上げ機であり、寸法が小さい部品です。これは、高速、正確かつ反復可能な結果を必要とする半導体およびオプトエレクトロニクス用途に適しています。研削ヘッド、ラッピングプレート、研磨プレートは高精度で、表面仕上げ品質の面で優れた性能を提供するように設計されています。可変速度Y軸とX軸テーブルにより、研削ヘッドの位置を簡単に調整して目的の表面効果を得ることができます。機械は異なった材料に使用することができる3つの別の磨く場所を特色にします。研磨パッドは、XY軸の調整可能なテーブルの助けを借りて正確に配置することができます。研磨媒体は、一貫した研磨性能を確保するために、ユニークな「U」形状の研磨ヘッドに取り付けられています。EBARA EPO222には全自動ロボットアームが装備されており、加工エリアからのウェーハの積み降ろし、研磨媒体や研磨パッドの自動交換が可能です。また、レーザーアライメントシステムと、プロセスの再現性を高め、メディア消費を削減する自動フィルタクリーニング機能を備えています。このマシンは、直感的なタッチスクリーンインターフェイスとわかりやすい操作メニューを備えたコントローラを介して操作されます。また、時間とメディアの消費率、温度、RPM、研削/研磨結果など、時間をかけてすべてのプロセスパラメータを正確に監視できるデータログも備えています。結論として、EPO 222は高度で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。高精度の表面仕上げ品質で再現性のある正確な結果を提供し、さまざまな精密アプリケーションに適しています。直感的な操作インターフェイスと自動化された機能により、このツールは最小限の労力で高いレベルの表面仕上げ品質を達成するための理想的なソリューションになります。