中古 EBARA EPO-222 #293775098 を販売中

EBARA EPO-222は研究開発の特定の要求のために設計されている高性能のウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く装置です。非常に高い表面平滑度と平坦度を達成することができ、高品質で均一なデバイス表面および部品の製造要件を満たすことができます。EBARA EPO222は効率的なウェーハ加工のために設計されています。強力で高効率な研削モーターと調整可能なスピンドル速度を備え、最適な表面滑らかさを提供します。また、シングルサポートテーブルに研削ユニットを搭載し、ウェーハへの容易なアクセスを可能にし、ウェーハの迅速なロードとアンロードを可能にします。このシステムは、処理されるウェーハの種類を自動的に認識し、それに応じて研削パラメータを調整することも可能であり、オペレータは処理パラメータを素早く調整することができます。EPO 222のラッピングステージは、特別に設計された研磨工具と幅広い研磨材料を使用して、幅広い材料で優れた鏡面仕上げを実現しています。さらに、このユニットにはスラリーフィードマシンと再循環ループが含まれており、研磨剤をサスペンションに保ち、表面の傷のリスクを最小限に抑えます。EPO-222の研磨段階は、金属、セラミックス、プラスチック、ガラス、半導体など、幅広い研磨材料と互換性があります。このツールは、様々なグレードやサイズの研磨布を使用することができます。この資産には、研磨残留物を効率的に除去するための高圧洗浄モデルも含まれています。全体として、EBARA EPO 222は、効率的でトラブルフリーで高精度なウェーハ処理を行うために設計された先進的な装置です。非常に高い表面滑らかさと平坦度を実現することができ、研究開発から生産まで幅広い用途に最適です。