中古 EBARA EPO-222 #293775096 を販売中

EBARA EPO-222は、従来の手動研削および研磨方法と比較して、最も要求の厳しい用途に優れた結果を提供する自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。システムは、メイン研磨テーブル、メインモーターと駆動ユニット、2つの独立した上下研磨/ラップステージ、静的研磨ステージ、研磨フィルム塗布および除去ステーションで構成されています。これらのすべてのコンポーネントを組み合わせることで、システムはコンパクトで費用対効果が高く、ユーザーフレンドリーで優れた結果を提供します。EBARA EPO222の主な研磨・研磨テーブルは、最大6つのウェハを一度に保持するように設計されており、速度設定が調整可能で、複数のウェハを異なる速度で研磨・研磨することができます。メインモータ駆動は高いトルクを有し、一貫性のある研削と研磨圧力を可能にし、毎回均一で安定した結果を得ることができます。2つの別々の上部および下部の研削/ラップステージは、任意の形状ウエハまたは基板表面を処理でき、再現可能な結果を得るために精密に調整することができます。この柔軟性により、研削角度、距離、圧力を正確に調整し、表面の複雑さに関係なく完璧な研磨を保証します。EPO 222の静的研磨ステージは、ウェーハ表面または基板材料全体に沿って特定の圧力を均等に印加するように設計されています。ペーパーアプリケーションと除去ステーションは、基板からの残留物の除去に使用され、平らな面と曲面の両方で動作します。EPO-222は使いやすく、セットアップに最小限の労力が必要です。精密研削、ラッピング、研磨アプリケーションに最適です。テーブルの振動作用は、ウェーハ表面全体をシミュレーションで研磨し、最も繊細な素材でも取り扱うのに適しています。反復可能な結果と大量のウェーハを磨く機能はEPO222にあらゆるウェーハ関連の生産プロセスのための優秀な選択をします。