中古 EBARA EPO-222 #293760236 を販売中

EBARA Technologiesによって開発されたEBARA EPO-222は、精密半導体ウェーハ製造のための高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハ上のナノメートル以下の表面精度を実現するため、効率的で信頼性の高い複数の機能を備えています。このシステムは、温度制御された大型の研削チャンバーを備えており、ウェーハの温度誘発金属摩耗および破損を防止します。冷却ユニットは、チャンバの温度を制御下に保ちながら、熱勾配を大幅に低減するのに役立ちます。このマシンはまた、研削、ラッピング、研磨ウエハに適した速度の範囲を持つ二軸精密スピンドルを持っています。プラテンとウェーハの間の調節可能な圧力は均一な結果を保障するのに必要な完全な圧力を可能にします。EBARA EPO222ウェーハ研磨機は、頑丈な設計、ステンレス製の部品、大量のウェーハに対応できるフィーダーライン付きオートローダを備えています。また、さまざまな研磨サイクルを持つだけでなく、加工中のウェーハに研磨パラメータを動的に適合させることができる自動研磨装置も付属しています。EPO 222ツールは、クリーンルーム環境で使用するために設計されています。さらに、高度な集塵・濾過システムや、緊急停止や温度監視などのさまざまな安全機能も備えています。さらに、ウェーハの自動測定・位置決めや、ウェーハ加工作業の追跡が可能な統合カメラシステムインターフェイスを搭載しています。さらに、独自のウェーハ測定モジュール（PMM）により、ウェーハの測定精度とトレーサビリティが保証されます。堅牢な設計、高度な機能、および正確な測定により、EPO222は生産および研究の設定における最高の要件を満たすように設計された強力なユニットです。精密研削、ラッピング、研磨のいずれにEPO-222ても、高精度で信頼性の高い半導体ウェーハを何度も製造するのに最適なツールです。