中古 EBARA EPO-222 #115590 を販売中

EBARA EPO-222は、精密精度を必要とする半導体製造業などで使用される最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。EBARA EPO222システムは、半導体研削、ラッピング、研磨用途で最高の性能を提供し、効率と品質を提供するように特別に設計されています。EPO 222ユニットは、ラッピング治具、ラッピングプレート、ラッピング盆地、コンプライアンスヘッドなどの本体と補助装置で構成されています。このマシンは、デュアル電圧駆動モータで動作し、最大700rpmの速度を達成することができます。工具の本体は、耐久性とメンテナンスの容易さのための頑丈な構造、鋳造アルミフレームとステンレススチールドアを備えています。それは最適な安全および性能のための密封された、防塵小屋で囲まれます。ラッピング治具は、ウェーハを簡単に転送するために本体にラッピング盆地を取り付けるために使用されます。ラッピングプレートは、均一で薄い研削を可能にするために、最適な角度にラッピング盆地を上げて傾けるために使用されます。ラッピング盆地は、多層コーティングを施した高精度の合金ナイフを備えており、滑らかで効率的なラッピング操作を可能にします。コンプライアンスヘッドにより、ウェハの処理周波数を制御することができ、研削およびラッピング作業が成功裏に行われ、高度な精度で行われるようになります。EBARA EPO 222は最適な性能、安全および長寿を保障する高度の監視および保護システムが装備されています。アセットには、過負荷や過熱による損傷を防ぐ自動アラームとシャットダウン機能が含まれています。このモデルには自動潤滑装置も装備されており、ラッピング治具、ラッピングプレート、ラッピング盆地に潤滑を提供し、システムの摩耗と破損を最小限に抑え、効率を最大限に高めています。EPO222ユニットは、信頼性の高いパフォーマンスと低コストの所有コストのために設計されており、途切れることのない生産プロセスと改善された歩留まりを保証します。軽量設計と統合された手動追跡機能により、EPO-222はシンプルで操作が簡単で、半導体業界にとって理想的なウェーハ研磨および研磨ソリューションです。