中古 EBARA EPO-213 #293814769 を販売中

EBARA EPO-213は、様々な素材で超微細な仕上げが可能な精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高生産率、超微細な最終研磨、およびさまざまな研削および仕上げ用途向けに特別に設計されています。EPO-213は、強力な2軸の数値制御研削スピンドルと超精密ラッピングと研磨を実現するように設計されたサーボ駆動のエンドエフェクタを備えています。これにより、短い研削時間で優れた表面仕上げを実現します。また、エンドエフェクタは、部品ジオメトリの変更を1つの部品から次の部品にすばやく調整する自己補償マシンを提供します。EBARA EPO-213には、最新の自動ウェハハンドリング技術も搭載されています。これには、ウェーハローダー、ウェーハマガジン、アンローダーが含まれます。ローダーとアンローダーは完全な自動ウェーハ転送プロセスを提供し、人件費と手動処理を最小限に抑えたウェーハの迅速な転送を可能にします。このツールは、石英、ガラス、クロムモリブデンなどの非常に硬い材料を研削するのに最適な頑丈な8インチ研削スピンドルによって駆動されます。このアセットには、研削熱を低減し、研削作業中のクーラントの分布を保証するクーラント安定化モデルも搭載しています。EPO-213には、高度なサーボ制御研磨装置も装備されています。多種多様な素材や表面仕上げを研磨しながら、高い再現性を実現します。さらに、調整可能なラッピング圧力、調整可能なプレート回転速度、プログラマブルなウェーハの向きなど、さまざまな研磨ニーズに対応できる高度な機能を備えています。EBARA EPO-213は完全に防塵および静的なしの労働環境で囲まれています。これには、エアコン付きのステンレス製フロントパネル、二重壁チャンバー、および高圧気流マシンが含まれています。このユニットには、操作と制御が簡単にできるユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスも含まれています。EPO-213は、大量生産のための精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールを必要とするお客様に理想的なソリューションです。自動化されたウェハハンドリングを活用することで、人件費と時間を節約しながら、効率的で信頼性の高い研磨・研磨作業で生産率を最適化し、優れた表面仕上げを実現します。