中古 EBARA EPO-213 #293814768 を販売中

EBARA EPO-213ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体の生産ライン用途に特化して構築された完全自動化された機械です。このシステムは、信頼性の高い結果をもたらす2段階の研削とラッピングプロセスを使用し、操作性と高いスループットを提供します。EPO-213は、ベースプラットフォーム、スピンドルアセンブリ、コンバータ、およびユーザーコントロール付きの統合ドライブユニットで構成されています。基礎プラットホームは機械のすべての部品を収容し、安定した動作環境を保障するために頑丈な鋼鉄から組み立てられます。スピンドルアセンブリは、さまざまなサイズのウェーハを保持し、研削するように設計されています。ウェーハのチッピングや破損を低減する優れた冷却・研削機構を活用し、迅速かつ効率的に実現します。このツールはまた、均一で反復可能な研削圧力を適用して、正確で改善された仕上げ品質を実現する統合ラッピング資産を備えています。また、ラッピングプロセスの不規則性を識別するためのベースとしても機能します。EBARA EPO-213モデルには、ユーザーが必要な要件に合わせてスピンドル速度を調整できる可変周波数駆動を提供するインバータが装備されています。この機能は、研削およびラッピングプロセスで最適な結果を確実にするために重要です。さらに、この機器にはユーザーフレンドリーなインターフェイスとタッチスクリーンディスプレイが含まれており、ユーザーは作業中のプロセスに必要な正確なパラメータを設計およびプログラムできます。統合されたドライブシステムは、EPO-213を真にユニークなものにします。このユニットは、ユーザーが自分の操作に関する詳細な情報を提供することにより、研削とラッピングのプロセスを絶対的に制御することができます。マシンのユーザーインターフェイスはレシピ機能も提供しているため、ユーザーは研削およびラッピング設定を保存、リコール、および迅速に変更できます。全体として、EBARA EPO-213ウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングツールは、同社のエンジニアによって設定された許容範囲内で信頼性の高い一貫した結果を提供します。使いやすく、開始前に最低限のセットアップが必要です。繰り返し可能で正確なプロセスを保証するように設計されており、ユーザーはプロセス設定を迅速かつ簡単に変更して保存することができます。