中古 EBARA EPO-113 #9219031 を販売中

EBARA EPO-113は、最先端の多機能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは異なった条件のウェーハの平らな、完全に終えられた表面の広い範囲を作り出すために設計されています。EBARA EPO 113は、機能、精度、信頼性を単一のシステムに統合します。EPO-113には2つの独立したキャリアがあり、それぞれに4つの3軸の数値制御研削スピンドルがあり、2つのキャリアがユニットに組み込まれています。3軸スピンドルは、多種多様な治療にわたって均一で正確な結果を生み出すようにプログラムすることができます。2つのキャリアは、異なる機能を備えた独立した動作が可能であり、マシンは1つのパスでマルチレベル研削、ラッピング、研磨を行うことができます。これは時間を節約し、精度と生産性を向上させます。EPO 113には、ウェーハの安全な位置決めのための細長い表面板が取り付けられており、ユニット全体の精度が向上しています。このツールは、密封されたエンクロージャや真空回収システムなどのエアパージング機構により、ほこりの汚染から保護されています。EBARA EPO-113は、プロセスパラメータの視覚的確認を可能にする高解像度デジタルディスプレイモニターを備えており、優れた制御とトレーサビリティを提供します。アセットはモジュール式で、お客様固有のニーズに合わせて構成することができ、簡単な輸送と保管のためにモデルを分離することができます。EBARA EPO 113には、使いやすく直感的な高度なシコヤ制御ソフトウェアが搭載されています。複数のプロセスを簡単にプログラムおよび制御でき、正確なウェーハ処理が可能です。また、ウェーハプロセスパラメータのデータロギングとトレーサビリティも可能で、ウェーハ処理の品質管理に役立ちます。ウエハレベルのポリッシャーであるEPO-113は、ウエハ加工に優れたソリューションを提供します。高精度な加工結果により、製品の品質と歩留まりが向上します。3軸機器は、1回のパスで複数の加工ステップを実行できるため、ウェハ加工のサイクルタイムとコストを大幅に削減できます。EPO 113システムは、正確な要件を満たす高品質の平面を提供するように設計されています。