中古 EBARA EPO-113 #9210283 を販売中

EBARA EPO-113は、ライフサイクルを通じて高い生産性と品質を提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。EBARA EPO 113は、精密研削、ラッピング、研磨のための高度な技術のユニークな組み合わせを備えています。このシステムにより、オペレータは、直径6インチまでのウェーハのバックグラインド、フロントグラインド、ラッピング、研磨など、さまざまな複雑なプロセスを実行できます。EPO-113は主要な機械ボディ、基盤およびカバー、多数の粉砕の紡錘、自動ローディング/荷を下すテーブル、移動の腕、分離器および任意ラッピングおよび磨くシステムから成っています。本機本体は、複数のウエハ研削とラッピングスピンドルを保持することができる堅牢なクローズドループフレーム設計を特徴としています。スピンドルはベルト駆動で、高速で均一な回転を特徴とし、正確で一貫したウェーハ研削とラッピングを保証します。本体には、機械的な深さの切断制御、自動スピンドルロックシステム、自動ドライブシステム、および構成の精度を保証するセンサーも含まれています。EPO 113のベースとカバーは、軽量アルミ合金材料で構成されています。本体の出し入れが容易に行き届くように設計されており、内部部品の簡単なメンテナンスとテストが可能です。この軽量設計により、EBARA EPO-113の効率的な積載と輸送も容易になります。EBARA EPO 113の積み下ろしは、最大6インチの直径を持つ複数の自動積み下ろしテーブルによって容易になります。自動化されたトランスファーアームは、複数のピックアップ複数の転送場所を提供し、生産ライン全体にわたって効率的なウェーハの流れを提供します。セパレータは、処理が完了すると自動的に生産ラインからウェーハを除去するようにプログラムされます。EPO-113のオプションのラッピングとポリッシングユニットは、独自の水平および下向きの傾斜設計を使用しています。このデザインは、ウェーハ全体の表面の均一性を確保するために、傾斜メッキを穏やかに「歩く」ことを保証します。ナノレベルの表面仕上げが可能です。EPO 113は、堅牢で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールで、生涯にわたって高い生産性と品質を確保するように設計されています。高度な技術、自動積み下ろし部品、オプションのラッピングおよび研磨アセットの独自の組み合わせにより、EBARA EPO-113、直径6インチまでのウェーハの精密研削、ラッピング、研磨に最適なモデルです。