中古 EBARA EPO-113 #293825810 を販売中

EBARA EPO-113は、精密で一貫した再現性のある研磨結果を提供するように設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、効率と精度の高いレベルで直径6インチまでのウェーハの多種多様を処理することができます。EBARA EPO 113は、剛性のある振動減衰フレームに組み込まれており、内蔵された低騒音の真空ユニットを内蔵しています。この機械はさまざまな粉砕、ラッピングおよび磨く媒体の精密な、反復可能な適用そして取り外しを可能にします。精密なモーションコントロールと精密なモーションプロファイルは、2つの独立したガントリーに3つの高精度ブラシレスサーボモータによって駆動され、堅牢で耐食性の高いフレーム構造を備えています。ウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールEPO-113、多くのユーザー制御可能なパラメータを提供します。これには、送りモータと回転モータの両方の速度、粉砕および研磨媒体の塗布および除去のための圧力サイクル、およびトータルサイクル時間が含まれます。また、エレクトロメカニカルアセットにより、精密かつ再現性のある研削、ラッピング、研磨プロセス、および正確なウェーハ位置決めが可能になり、アプリケーションと除去プロセスの正しい機械化学的アライメントが保証されます。EPO 113モデルの運用環境は、装置の効率的な運用を容易にするように設計されています。これには、窒素供給付きのクリーンな環境と、温度と湿度制御が含まれます。冷却システム、ガスレギュレータ、安全カバー、サンプルチップなど、幅広いアクセサリーも用意されており、研磨プロセスを完全に制御できます。システムの高度な制御アルゴリズムは、直感的なプログラミングとユニットの操作を可能にします。この自動化されたマシンは、PC、ネットワーク、またはコントローラを含む多数の追加システムとインタフェースすることができます。フロントパネルに配置されたインタラクティブディスプレイにより、さらなるユーザーコントロールが可能です。EBARA EPO-113ウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールは、さまざまなウェーハを研磨するための完全で自動化されたソリューションです。精密なモーションコントロール、電気機械資産、高度な制御アルゴリズムは、信頼性の高い精密研磨結果を提供します。ユーザーコントロール可能なパラメーター設定、直感的なプログラミングとインターフェース、および幅広いアクセサリが、モデルの十分に丸みを帯びた機能を追加します。