中古 EBARA EPO-113 #293825809 を販売中

EBARA EPO-113ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、信頼性が高く、自動化され、ユーザーフレンドリーな機械です。直径200mmまでのウェーハを研削、ラップ、研磨する堅牢な半自動システムです。EBARA EPO 113は、最大150mm/minで動作する手動および半自動プロセスに理想的なユニットで、研削精度は0。5umです。ステンレス製のサイドレールはリニアモーションを可能にし、機械はウェーハの両側に一貫して高い表面仕上げを提供する研削プロセスと組み合わせて「、負荷と移動」ウェーハスタック処理用に設計されています。堅牢で信頼性の高い設計により、さまざまな生産および研究環境で安定性と再現性が保証されます。オールインワンツールには、スピンドル、ラッピングプレート、ラッピングプレートはさみ金、および各プロセスの安全で正確な制御を保証する専用の吸引ホルダーが含まれています。エンゲージメント制御の深さがあり、ユーザーは事前設定された深さの範囲から選択することができます。さらに、EPO-113は研削工程の自動制御のための統合された指標資産を持っています。EPO 113は、非常に静かで高精度なダイレクトドライブモーターを使用して、滑らかな振動のない研削、ラッピング、研磨を保証します。モーターは均一な結果を保障するのを助けるばねによって荷を積まれる圧力版と可変的な速度操作を提供します。プログラム可能な真空レベル設定を備えた統合真空モデルは、研削剤の使用量を削減し、最高品質の結果を保証します。EBARA EPO-113はシンプルで使いやすいコントロールユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは機械パラメータを調整して監視することができます。さらに、統合されたプロセスモニタリングにより、ウェーハ研削性能を観察し、プロセスパラメータと結果の概要を表示することができます。最後に、EBARA EPO 113には、ユーザーが専門のサービス技術者を必要とせずにコンポーネントをすばやくクリーニングおよび交換できる便利なクリーニングおよびサービス手順が含まれています。