中古 EBARA EPO-112 #9246168 を販売中

EBARA EPO-112は、プログラマブル、精密、ウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置で、高品質の裏面薄型化、ウェットエッチング結果、およびその他の製造プロセスのためのウェーハを準備するために特別に設計されています。システムの中心にはCNCコントローラがあり、精密な再現性のためにデジタル読み出しで研削、ラッピング、研磨操作を完全に制御します。ユニークなワンピースのRingflexラッピングプレートを備えており、3つのサイズのフェルトパディングが用意されています。オプションのヒートブランケットは、精密な均一な温度制御を提供します。さらに、Ringflexプレートとウェーハホルダーの矢印マシンは、研削および研磨操作の微調整を可能にします。プロセスの再現性と調整性を容易にするために、このツールはプログラム可能なプロセスパラメータを備えています。これには、製品寸法、所望の研磨時間、研削ストローク、研削圧力、ストローク速度、ラッピング速度、およびプロセス全体の各パラメータの動的分布が含まれます。プロセス変数は異なった材料およびウエハのタイプおよびサイズのために変えることができます。このアセットには、ユーザーフレンドリーで直感的なタッチスクリーンインターフェイスが付属しており、各処理ステップの設定とパラメータに簡単にアクセスできます。同時に、最大20の事前プログラムされたプロセス設定を保存できます。また、スマート保護モデルは、研削プレート、研磨パッド、研磨ホイールなどのウェーハ研削および研磨ツールの損傷を防ぎます。EPO-112装置のオペレータを保護するために、それはさまざまな安全対策を備えています。自動安全システムは、汚れた研削プレートやラッピングプレートが壊れたプレートなどの潜在的な危険を監視します。また、機械式研削プレートガードにより、作業者が意図せずウェーハに接触するのを防ぎ、ラッピングプレートを固定して再現性のある結果を得ることができます。このユニットは、必要に応じてパラボラ、円形、長方形、または他の形状をエッチングおよび/または研削することができます。機械はまた研削面を迅速かつ効率的に洗浄することができます。任意の溶媒洗浄スプレーを使用して破片を洗い流すことができ、強力な脱イオン水スプレーツールを使用するとウェーハ表面の洗浄を高速化できます。EBARA EPO-112アセットは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための自動化、再現性、正確、効率的な方法を提供します。このモデルのタッチスクリーンインターフェイス、プログラマブルパラメータ、必要な安全機能、および利用可能なアクセサリは、さまざまなウェーハ製造プロセスに最適です。