中古 EBARA EAC300BI-T #9290804 を販売中

EBARA EAC300BI-Tは、ウエハ表面仕上げの究極を目指して設計されたウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、4インチから12インチまでのさまざまなウエハサイズで動作するように設計されており、半導体業界での使用に適しています。EBARA EAC 300 BITは、高精度なウエハを製造することができる3段階のデバイスです。第1段階では、グラインダーにウェーハを配置し、ダイヤモンド研磨ホイールを使用してウェーハを所望の厚さと形状に研削します。第2段階では、高精度のダイヤモンド研磨ラッピングフィルムを使用して、ウエハの粗いエッジを滑らかにします。最後に、研磨段階では、ウエハ表面にカーボン研磨スラリーを塗布し、鏡面仕上げを実現します。このユニットはまた、精密制御されたX、 Y、シータ軸の位置決めテーブルを内蔵しており、正確で再現性のあるウェーハ研磨プロセスを可能にします。また、自動ローディング、自動ティーチング、自動アンロード機能を備え、ウェーハ処理を容易にします。さらに、リアルタイム制御ツールにより、研削ホイールのRPMと研磨スラリーパラメータを調整することで、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御できます。EAC 300BI-Tには、オペレータの安全を確保するためのさまざまな安全機能が装備されています。アセットには、両手の安全制御、緊急停止ボタン、アイウォッシュステーションが備わっています。さらに、水中排気装置を搭載しており、騒音レベルを低減し、ウェーハ加工時に発生するホコリを低減します。安全機能に加えて、EBARA EAC 300BI-Tは使いやすく、メンテナンスも簡単にできるように設計されています。このシステムには、詳細なユーザーマニュアルと、より長い生産ランのためのダイヤモンド研削ホイール、ラッピングフィルム、研磨スラリーの追加セットが付属しています。また、メンテナンス性の低い設計で、マシンのピーク性能を維持するために必要な最小限のアップキープを備えています。EBARA EAC 300 BI-Tは、半導体業界で高品質で信頼性の高いウェーハを製造するための理想的なソリューションです。3段階の研削、ラッピング、研磨ツール、精密制御された位置決めテーブル、組み込みの安全機能、および低メンテナンス設計により、EAC 300 BITは信頼性が高く、一貫性のある結果を費用対効果の高い効率的な方法で提供します。