中古 DNS / DAINIPPON / SCREEN AS 2000 #9382445 を販売中

ID: 9382445
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
CMP System, 8" Process: Oxide 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN AS 2000は、日本のDNS社が設計したウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、サファイアやその他の様々な材料を含むさまざまな基板上の超滑らかな仕上げを生成することができます。このユニットは、最高レベルの滑らかさを実現するために、精密なモーションコントロール、正確な空気圧、専用の研磨搬送方法の組み合わせを採用しています。高周波超音波トランスデューサを搭載し、幅広い材料に対して優れた研削・ラッピング性能を発揮します。さらに、高周波トランスデューサは、追加のラッピングステップの必要性を排除します。DNS AS 2000は、モジュラー軸の設計を特徴とし、すべての運動軸が連結され、精度と精度を向上させるために同時に動作します。工具の軸の総数には、3つの研削、2つのラッピング、1つの研磨軸が含まれます。サーボモータと、フォースセンサー、ゼータ背景センサー、ツールホルダーセンサーなど、さまざまなセンサーを搭載しています。フォースセンサーは、ワークピースに適用される力を測定するために使用され、ゼータのバックグラウンドセンサーは、資産を取り巻く地域の背景温度を測定します。ツールホルダーセンサーは、工作物に対するツールホルダーの動きを監視します。直径12インチ(304。8 mm)、厚さ8インチ(203。2 mm)までの基板加工が可能です。SCREEN AS-2000の研削速度は最大50m/s、一般的なラッピング速度は0〜2000m/minです。装置は0。5-10棒から調節可能である後者が、調節可能な粉砕およびラッピング圧力が可能です。空気圧システムはまた、時間制御や研削時間などの複数のモードでラッピングプロファイルを提供します。AS 2000には、研削、ラッピング、研磨パラメータを定義できるマニュアルコンソールが付属しています。また、入出力インターフェースも用意されており、便利なアクセスとユニットの簡単な制御が可能です。DAINIPPON AS 2000は、精密な制御とスムーズな動作を保証するために、洗練されたマイクロプロセッサ制御ユニットを備えています。全体的に、SCREEN AS 2000は、高精度で超滑らかな仕上げ加工が可能な高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このツールには、パラメータの簡単な操作と監視を可能にするための手動コンソールとインターフェイスが付属しているだけでなく、複数のモードと調整可能な研削およびラッピング圧力を提供します。
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