中古 DNS / DAINIPPON AS-2000 #9366258 を販売中

ID: 9366258
ヴィンテージ: 1999
CMP System 1999 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000は、半導体および太陽光発電産業のプロセスに不可欠な生産用に設計された、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。高精度の研磨・研磨装置、高度な研磨技術、表面欠陥の検出・解析用の統合デジタル画像解析モジュール(DIM)を備えています。DNS AS2000は、衝撃のないラッピングと研磨ストロップ研削を使用して、基板表面の均一で微細な仕上げを実現します。研磨および研磨システムには、速度と研磨特性を制御するために複数のモーターを備えた大径ベルトが含まれています。表面欠陥解析のための統合されたDIM機能は、デジタル顕微鏡と色分けされたグラフ解析を使用して、表面欠陥の検出、分類、定量化、診断を行います。DAINIPPON AS 2000は、高性能な精度と再現性を兼ね備えています。この制御ユニットは、電気光学フィードバックを利用することで、より厳しい許容加工と高精度なプロセス特性評価を可能にします。この精密な制御により、データ収集と自動化を使用したプロセス監視と改善も可能になります。機械に含まれる高度な研磨技術は、加工時間を短縮しながらも、基板表面に最適で微細な仕上がりを提供します。AS-2000は、標準およびカスタムチャンバーに加え、幅広い消耗品をサポートしています。また、各種研削工具や研磨工具にも対応しており、ハイスループット生産やカスタムウェハ研削用途に最適です。最大12インチのウェーハ。(300mm)は長さの制限なしで処理することができます。プログラム可能な設計は異なったプロセス条件に用具を非常に適応可能にします。DNS AS-2000は安全で効率的な運用のために設計されており、必要な安全および環境基準(ISO 9001および14001)に準拠しています。このウェーハ研削、ラッピング、研磨資産は、あらゆる半導体や太陽光発電設備にとって貴重な資産です。
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