中古 DNS / DAINIPPON AS-2000 #9235501 を販売中

DNS/DAINIPPON AS-2000は、半導体ウェーハの製造に特化したウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最大8枚のウエハを一度に研磨・研磨することが可能で、高生産性の加工が可能です。また、精密表面仕上げと高品質のパターンを提供しています。このウェーハ研削、ラッピング、研磨機は、真空チャッキング機構を備えた3次元自動ガイドウェイユニットで構成されています。研削から研磨工程へのウェーハ搬送を高速化し、製造時間を短縮します。さらに、DNS AS2000は、スムーズで正確なウェーハ転送のための統合されたエアベアリング設計を備えています。また、熱応力を防ぐための独立した空冷ツールを備えています。DAINIPPON AS 2000は、7nm以下の優れた表面粗さ（Ra）と、ウェーハの前面と背面の両方に鏡面状の仕上げを実現しています。この優れた精度は、すべての軸に低いクリアランスを備えたキネマティクスや、精度を向上させるための可変線形速度など、精密なマシンサブシステムによるものです。スピンドルと研削ヘッドを制御するために使用されるリニアドライブは、高精度で反復可能な結果を得るために使用されます。DNS AS 2000アセットには、最大6インチを含む幅広いサイズのウェーハが付属し、最大8ウェーハの容量を備えています。研削・研磨工程をオンプレーンで行い、ストレスや歪みを最小限に抑え、結果の精度と再現性を確保します。AS 2000モデルでは、必要に応じてプロセスを手動で変更することも可能です。さらに、装置をサードパーティの計測システムに接続して、プロセスの監視と最適化を行うこともできます。結論として、DNS/DAINIPPON AS 2000ウェハ研削、ラッピング、研磨システムは、高生産性加工、精密表面仕上げ、優れた表面粗さ、および低応力プロセスを提供し、迅速な調整と計測システムとの第三者統合の可能性を提供します。