中古 DNS / DAINIPPON AS-2000 #293821107 を販売中

ID: 293821107
ヴィンテージ: 1998
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System 1998 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000は、半導体およびMEMS製造業界向けに設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、研削スピンドル、ラッピングスピンドル、および研削スピンドルの変位を測定するエンコーダの3つの主要コンポーネントで構成されており、オペレータはタイトで正確な公差を達成することができます。研削スピンドルは、最大48,000RPMの高速化が可能な高出力ブラシレスサーボモータによって駆動され、所望の仕上げを実現するために速度と送り速度の両方で調整可能です。また、ラッピングスピンドルは、最高速度8,000RPMの高出力ブラシレスサーボモータを採用し、1回の移動で最大30,000mmまでウェーハを動かすことができます。ラッピングスピンドルはトッププレートの上にあり、オペレータはウェーハを処理する場所です。DNS AS2000は、作業時間を短縮し、廃棄物を削減するために設計された幅広い機能を提供しています。吸引ファンはユニットの背面に配置され、粉砕および研磨時に発生するほこりやその他の粒子を除去します。さらに、モータ制御部品には絶縁セラミックステップモータが装備されており、静的に充電可能なほこりや粒子を取り除き、きれいな作業面を確保します。また、研削データムを追跡してセットポイントで停止できる全自動測定機能や、工具交換を高速化するクイックチェンジチャックツール、ラッピングスピンドルの高さを様々なレベルに調整できる傾斜高さ調整装置を備えています。DAINIPPON AS 2000は、あらゆるウエハ研磨用途に適した先進的な機械です。ウエハを中央から外側にラップし、均一な仕上がりを実現する特許取得の3点研磨法を誇ります。この資産はまた、大規模で複雑な輪郭を含む特別な形状やサイズを扱うことができます。このモデルの力および正確さはAS 2000をあらゆる高度の磨く適用のための大きい用具にします。
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