中古 DNS / DAINIPPON AS-2000 #293733191 を販売中
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ID: 293733191
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
CMP System, 8"
Dual brush and top side brush chambers
Spin dry
Gases: DHF, NH4OH
(2) Chemical cabinets
MX-7500 TBC Brush load cell amp
PRETECH Fine jet Generator
AC Transformer
FA-21000A PC
YASKAWA SGD Drive
HF Circulation filter
UT3-F3AE-B touch panel
HFC-VWE Hitachi inverter
RORZE Curt-2032-0
Slurry flow controller interface
Power box
IFC-7300-001 Distribution box
Operating system: Windows NT
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000は、シリコンやその他の化合物半導体ウェーハを正確に研削、ラップ、仕上げするように設計された完全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、利用可能な最も汎用性の高い高度なオートメーションおよびプロセス制御ユニットです。優れたウェーハ表面仕上げが可能で、ウェーハの平坦性と厚さに優れています。DNS AS2000は、ステップ、ビア、バンプ研削を含む、対称および非対称のパターン化されたウェーハの理想的な平面および角度研削を提供します。研磨は自由に動く研磨剤の被写体機械によって達成され、速く、正確な平坦、均等性および厚さの調節を可能にします。このツールはまた、さまざまなプロセスに異なるダイヤモンド粒子を使用する選択を含む、さまざまな研磨および研削パラメータを提供します。この資産には、圧力レギュレータ、真空システム、温度制御ユニットなどの高度なプロセス制御および安全システムが装備されています。これにより、優れたウェーハ表面状態と品質で正確かつ再現性のあるプロセスが保証されます。ウエハフィーダやウエハフレームなど、ウエハサイズを簡単に調整できるほか、タッチパネル付きPLCコントローラを採用し、工程選択が容易なほか、複数の研磨・研磨モードを内蔵しています。DAINIPPON AS 2000は、最適な研削生産性とプロセス性能を実現するために、ドレッシングパラメータ、ダイヤモンドサイズ、グレード、インターフェイス圧力、速度プロファイル、振動、および材料除去率などの研削および研磨パラメータを正確に制御できる高度なソフトウェア機能を備えています。このモデルは、統合データベースとプログラマブルロジックコントローラによるプロセスオートメーションもサポートしています。この装置は、表面の状態に強く影響される必要な研削または研磨圧力を適用するための現実的なシステムを利用しています。研削研磨制御ユニットには、研削プロセスを監視、制御、分析するための完全に統合されたソフトウェアパッケージも含まれています。要するに、DNS/DAINIPPON AS 2000は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨機であり、優れたウェーハ表面仕上げと厚さを提供します。多数の化合物半導体ウェーハの表面を正確かつ正確に研削、ラッピング、研磨することができ、高度なプロセス制御および安全システムを備えているため、さまざまな最先端のウェーハ加工アプリケーションに最適です。
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