中古 DISCO RS-03-2-2 / 4P #9142774 を販売中

ディスコRS-03-2-2/ 4Pは、薄いシリコンとサファイアウエハの製造に使用される多機能の研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大4つの研磨と研磨を同時に実行するように設計されており、再現可能なプロセスで高品質のウェーハを生産することができます。このユニットは、ダイヤモンド研磨ディスクと固体研磨パッドのセットを使用して、所望の仕上げを実現しています。ウェーハの研磨・研磨は、半導体、オプトエレクトロニクスなどの分野で活用されている様々な技術のウェーハを製造する上で重要なステップです。プロセスの高精度と再現性は、製造されるウェーハの全体的な品質の重要な要因です。RS-03-2-2/ 4Pは、必要なアクセサリーとコントロールとともに、堅牢な研磨および研磨プラットフォームで構成されています。このマシンは、2つのリニアモータ駆動研削ヘッドと2つの可変周波数モータ駆動研磨ヘッドを使用しており、それぞれがプログラム可能な速度と圧力を提供します。ヘッドは独立して操作され、2つの異なるプロセス間の補間などの複雑な操作を行うことができます。さらに、このツールには2段階のプロセスチャンバーが含まれており、加工中に正確な温度、圧力、溶液混合物を適用することができます。このアセットには、怪我の可能性を低減するリアインターロックモデル、ワークテーブルから廃棄物を除去するための統合真空装置などの安全機能も含まれています。さらに、このシステムには強力な制御ユニットが含まれており、リアルタイムのプロセス監視と調整可能なパラメータをユーザーに提供します。DISCO RS-03-2-2/ 4Pは、Ra0.01 μ m以下の表面粗さと0。001 μ mの表面平坦性を実現し、さまざまな用途で高品質のウェーハを製造することができます。さらに、このマシンは精密制御ツールを備えており、ユーザーに精密なプロセス制御を提供します。これらの機能を組み合わせて、RS-03-2-2/ 4Pは完璧な平坦性と完璧さを備えた薄膜基板を製造するための強力で信頼性の高いツールになります。