中古 DISCO DTG 8440 #293828625 を販売中

ディスコDTG 8440は、高密度カンチレバーおよび両面ウェハのメーカー向けに特別に設計された、堅牢で使いやすい研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高いスループットで高精度のサブアパーチャ寸法を生成することができます。DISCO DTG8440は、複数のウェーハを1つのセットアップで処理するのに適しており、必要な数のウェーハを効率的に生産することができます。DTG 8440は、精密な研削、ラッピング、研磨作業を可能にする統合された研削、ラッピング、研磨サブシステムを備えています。統合されたサブシステムには、2つのサーボ制御研削スピンドル、1ラップ、および研磨スピンドルが搭載されています。このフレキシブルなスピンドル配置により、大小のウエハフォーマットの取り扱いだけでなく、フルレンジの研磨および研磨作業も可能になります。DTG8440はさらに最新の非接触測定装置（NCMS）を搭載しており、プロセスの究極の精度を決定するのに役立ちます。このマシンは、ウェーハ表面の特性に関する正確な情報を提供し、所望の表面仕上げを達成するために動作パラメータを最適化するのに役立ちます。ディスコDTG 8440は、さらに望ましい仕上がりを保証するために、ウェーハの正確な研削を保証するウェット研削オプションを備えています。ウェットプロセスにより、研削中にウェーハ表面にクーラントを循環させることができ、熱効果の低減と除去率の向上に役立ちます。ディスコのDTG8440は容易な操作、維持およびクリーニングのために設計されています。オペレータパネルはユーザーフレンドリーであり、リアルタイムのプロセス監視、正確な温度制御、およびその他の関連制御を提供します。さらに、研削状態と動作パラメータの正確な情報も記載しています。DTG 8440には、空中の粒子や汚染を最小限に抑える空調および加熱された裏面クリーニングゾーンも付属しています。すべてにおいて、DTG8440は高密度カンチレバーと両面ウェハの効率的かつ正確な研削、ラッピングおよび研磨を可能にする堅牢で精密ベースのツールです。ディスコDTG 8440は、統合されたサブシステム、複数のウエハを一度に処理する汎用性、NCMS、湿式研削オプション、およびユーザーフレンドリーなオペレータパネルにより、望ましい表面仕上げと精度を実現します。