中古 DISCO DGP 8761 #9364774 を販売中

ディスコDGP 8761は、包括的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、MEMSデバイス、SOIウェーハ、その他の電子部品などの同様の構造の量産用に設計されています。それは精密で、良質の結果を保障するために一連の自動処理ステップが装備されています。ディスコDGP8761は、シングルサイド研磨（SSP）方式を採用し、研削、ラッピング、研磨を行っています。パワフルなサーボコントロールモーターを搭載し、システムのクロスフィードテーブルに電力を供給することで、主軸に対して正確にウェーハを移動させることができます。このユニットには、XYステージの剛性を備えているため、テーブル上でより大きなワークを処理することができます。機械は望ましい厚さおよび終わりに材料を減らすのにダイヤモンドの粉砕用具を使用します。ダイヤモンドの粉砕車輪はワークの広い範囲を収容するためにさまざまな標準および顧客用サイズで利用できます。このツールは、粒子損失を最小限に抑えて、超平坦な表面とタイトな表面仕上げを実現することができます。8761のラッピングプロセスは、表面から不要な材料を取り除き、均一な平面面を作り出します。このアセットは、さまざまな従来の特殊なラッピングおよび研磨化合物を使用することができ、粒子損失を最小限に抑えた光学的に平らな表面プロファイルを生成することができます。精密な仕上げを保証するために、モデルには統合されたキャリブレーションおよび検査装置が含まれています。このシステムは、ワークの3D-profileを取得するために使用されるユニークなビジョンユニットを持っています。このデータは、正確な処理パラメータを確保するために、ツールパスを必要に応じて修正するために使用されます。最後に、8761には統合されたクリーンルーム施設があります。HEPA/ULPA装備のクリーンルームカーテンを搭載し、処理中の汚染を最小限に抑えます。また、高感度アプリケーション用にEMF（電磁界）シールドを備えた追加の安全装置も備えています。DGP 8761は、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された技術的に高度なツールです。その先進的な機能により、高精度な結果を一貫して生成することができ、今日のMEMSおよびSOIウェーハ生産設備に最適です。