中古 DISCO DGP 8761 #9275220 を販売中

ディスコDGP 8761は、フルオートメーションと高精度で、プロセスのスループットを大幅に向上させる高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。使いやすい自動スクラッチ摩耗検出および評価システムを備えたDISCO DGP8761は、望ましい機械的表面特性を達成するために使用できるカスタマイズされたソリューションをユーザーに提供します。単位は反復可能な結果を促進するように設計されている高度の設計を特色にします；ウェーハステージは回転テーブルにロードされ、研削ディスクはテーブルにロードされます。ウェーハはテーブルに積み込まれ、真空チャックによって確実に所定の位置に保持されます。作り付けの紡錘は粉砕の速度および深さ制御の調節を可能にするために調節可能です；粉砕の速度は粉砕プロセスを最大限に活用するために調節することができます。DGP 8761は各操作のための粉砕の速度および深さを調節できる強力な制御機械が装備されています。DGP8761ツールのラッピング機構は、高度なサーボモータによって駆動され、さまざまなウエハサイズや用途に対応するために正確に調整することができます。研削ディスクはウェーハに密着し、ダイヤモンド複合スラリーを使用して両側にラップします。特殊なラッピングプレートは、均一なプロファイルを生成するためにウェーハに圧力をかけるために使用されます。研削ディスクに適用される調整可能な圧力により、ウェハが均一な仕上がりで一貫してラップされます。プロセススループットを最大化するため、ディスコDGP 8761には高性能ポリッシュヘッドを搭載しています。ポリッシュヘッドは、ウェーハの両面に研磨剤を塗布するために使用され、高品質の表面仕上げを実現します。ポーランドの頭部は高性能モーターを特色にし、磨くプロセスの精密な制御を提供するために調節可能です。高度な保護アセットを使用して、研削、ラッピング、研磨プロセス中にウェーハが損傷しないようにします。このモデルは、存在する可能性のある破片、チップ、または傷を検出するセンサーで設計されており、異常が検出された場合は自動的に装置をシャットダウンします。これにより、パッシブ部品の損傷を防止するとともに、最適な性能を確保することができます。DISCO DGP8761は、最小限の手動入力で最高品質のパフォーマンスを提供するように設計されたオールインワンシステムです。自動スクラッチおよび摩耗検出および評価ユニットは、強力なプロセス制御機械と組み合わせて、望ましい表面機械的特性が達成されることを保証します。工具の調整可能な研削速度、ラッピング圧力、および強力なモーターを備えたポリッシュヘッドは、ウェーハの両側で均一な仕上げを保証し、最大のプロセススループットを確保します。DGP 8761を使用すると、ユーザーは高精度で高性能な資産を保証できます。