中古 DISCO DGP 8761 #9265599 を販売中

ディスコDGP 8761は、世界をリードするウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、半導体および研究業界で最も要求の厳しいアプリケーションに、これまでにないパフォーマンスとオートメーション機能を提供します。ディスコDGP8761は、リニアモータと中軸モータの両方を含む3軸ブリッジユニットと、必要なレベルの精度と精度を提供する高精度のコンピューター制御ウェーハハンドリングマシンを備えています。そのツールは、ナノメートルの精度に結晶ウェーハを研削、ラッピング、研磨することができ、信頼性と再現性の高いプロセス結果を保証します。DGP 8761の3軸ブリッジアセットは、X、 Y、 Z軸に沿ったバランスのとれた動きを保証するために、線形モーターと中軸モータを組み合わせています。個別に調整可能な静的および動的バランスを使用することで、最も要求の厳しい生産シナリオやアプリケーションでも処理できます。また、中間軸モータは、ウェハを1つのステーションから次のステーションに転送するなど、非常にスローモーションが必要な状況での正確なモーションコントロール用に設計されています。また、DGP8761はコンピュータ制御のウェーハ処理モデルを備えています。この装置は、ウェーハを正確な方向と位置に最大限の精度で持ち上げ、回転させ、配置することができます。また、研削、ラッピングまたは研磨プロセスが行われる前に、ウェーハ上の欠陥やその他の汚染物質を検出するために使用されるビジョンシステムが装備されています。ユニットの高度な固定機能により、ユーザーはさまざまなアプリケーションのツーリング設定を迅速かつ簡単に構成し、研磨材の位置と向きをプログラムすることができます。静的および動的固定の組合せは非常に安定した基盤で、精密な粉砕および磨くことを可能にします。付属のATW（アダプティブタイミングホイール）を使用してツーリング構成を微調整することもでき、プロセスの結果を真に制御できます。DISCO DGP 8761には、ユーザーがマシン設定をプログラムし、単一のインターフェイスからプロセス全体を制御することができる直感的なソフトウェアが装備されています。このユーザーフレンドリーなソフトウェアは、ツール設定の迅速かつ簡単なセットアップと調整だけでなく、プロセスのリアルタイム監視を可能にします。ディスコDGP8761は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途の厳しい要求に応えるために設計された優れた機械です。3軸ブリッジツール、高度なウェーハハンドリング資産、特殊なツーリング治具、直感的なソフトウェアを組み合わせることで、信頼性が高く、繰り返し可能で正確なプロセス結果が得られます。