中古 DISCO DGP 8761 #293629542 を販売中

ディスコDGP 8761は、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、2〜8インチのサイズ範囲でウェーハを自動処理するように設計されています。DISCO DGP8761は、お客様のご要望に合わせて様々な工程をこなすことができるマルチステージユニットです。ダイヤモンド研削砥石を用いたウェハ研削加工を行います。このプロセスは、広帯域振動によって支援され、研削砥石が連続的に振動する原因となります。これは、ウェーハのすべての表面が正しく丸められているか、水平になっていることを確認するためです。結果として得られる表面は平坦性と頑丈性の両方に優れています。ラッピングは、ウェーハをより高い平坦度にするために使用されます。このプロセスはスラリータンクで行われ、ウェーハをゴムパッドに接合して旋回させます。プロセスは、ウエハ表面を滑らかにするタンクの底にある酸化ケイ素スラリーによって支援されます。結果は研磨の準備ができている平らで滑らかな表面です。このツールは、ポリッシングパッドの下にペルチェ冷却アセットを使用することにより、優れた研磨性能を提供します。研磨接触レリーフを極めて低く保ち、高い寸法精度と優れた表面仕上げを可能にします。さらに、プロセス中にウェーハが変形しないように研磨圧力を調整することができます。さらに、特定のプロセスを自動化してモデルに統合することで、処理時間を短縮できます。制御ソフトウェアは、機器の柔軟なプログラミングを可能にし、操作を管理し、監視するための使いやすいインターフェイスを提供します。ソフトウェアはまた、生産プロセスの効率を高める1つのプロセスに複数の操作を統合することができます。結論として、DGP 8761は特殊なウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。高度な自動化と膨大なプロセス能力を活用して、高品質の結果をもたらします。マルチステージユニットは、ウェーハのすべての表面がプロフェッショナルな方法で処理されるように設計されています。