中古 DISCO DGP 8760 + DFM 2700 #293633785 を販売中
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ID: 293633785
Wafer back grinder
Load port
Robot
Chuck table
Spindle
(2) Transfer arms
Spinner
Position
Chuck table washing
Vacuum pump
Polish residue collector
UPS
Transformer
DTU
DFM2700:
Load port
Robot
Inspection table
UV Table
Alignment table
Wafer transfer table
(2) Wafer transfer arms
Dicing tape attachment table
Dicing tape feeder
Batch cutting
Workpiece transfer arm
Protection tape peeling
Workpiece unloading
Unloader
Vacuum pump
2006 vintage.
ディスコDGP 8760+DFM 2700は、ポリシリコン、石英、ガリウムヒ素などのさまざまなウエハータイプの研磨に最適なウエハ研削、ラッピング&研磨装置です。これは、特に計測およびMEMS業界で最も厳しい要件を満たすために、精密かつ正確な薄膜蒸着を確保するように設計されています。ディスコDGP 8760は精密な再研削を可能にする高精度の研削スピンドルを内蔵していますが、DFM 2700はデジタル力センサーを使用して研削力を測定および制御し、優れたウェハ表面品質を保証します。また、両システムとも独自に調整可能なアーティキュレーティングアームガイドを備えており、ウェーハ加工用の正確なサンプルアライメントが可能です。DGP 8760グラインダーには、スピンドルの動作条件を監視し、プログラム可能なパラメータと設定に従って圧力を調整するコントロールユニットが装備されています。ラッピング&研磨プロセスは、分離された空気洗浄と高速空気圧研磨ジェットによってさらに強化され、プロセスの精度を損なうことなく可能な限り最高の表面仕上げを保証します。全体的に、このシステムは、研削、ラッピング、研磨アプリケーションの広い範囲で最先端の機器を提供しています。自動化されたプロセスにより、ウェーハ処理の再現性と精度が保証されます。さらに、そのオープンアーキテクチャとユーザーフレンドリーなインターフェイスは、カスタムプロセスとアプリケーションを実装するための柔軟性を提供します。このユニットには、チャック圧、ジグ、ホイール、スピンドルの毎日のチェックも含まれ、適切なケアとメンテナンスが不可欠です。最適な性能を得るためには、定期的に緩い部分をチェックし、作業領域から残留材料を洗浄することも必要です。ディスコDGP 8760/DFM 2700マシンは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスのターンキーソリューションです。精密機器と高度な機能を備えており、幅広い用途に最適な結果を提供します。
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