中古 DISCO DFS 8910 #9284016 を販売中

ディスコDFS 8910は、片面加工と両面加工を高精度かつ高精度で提供する汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ディスコDFS8910は、幅広い機能を備えた大規模なウェーハグラインダー、ラッパー、ポリッシャーです。それは安定した、精密なプロセスのための半導体産業の厳密な条件を満たすように設計されています。このマシンは高度な自動制御システムで構築されており、精度と生産の一貫性を向上させます。この機械は頑丈なフレームで構成されており、過酷な産業環境での信頼性を保証する頑丈な鋼鉄を使用して構築されています。研削、ラッピング、研磨の4つのステーションを備えています。研削ステーションは円形のウェーハの円周に沿って回転する円形の粉砕車輪が装備されています。ウェーハ表面の表面の欠陥や凹凸を除去します。ラッピングステーションには、エメリー、ラッピングフィルム、ダイヤモンドラッピングホイールが装備されています。このステーションは、ウェーハから微細な表面の特徴を除去します。研磨ステーションには、ホーニングディスクと樹脂ダイヤモンド研磨ホイールが装備されています。ウェーハ研磨工程を完成させ、研磨性と欠陥のないウェーハを実現。輸送システムはDFS 8910で進められています。真空搬送ユニットで構成されており、正確なウェーハ処理が可能です。ウェーハは輸送中に真空で固定され、外力や衝撃による損傷を防ぎます。また、機械設計によりウェーハ全体のバランスのとれた力が確保され、一貫したウェーハ仕上げが可能です。このマシンは、ウェーハ加工プロセスの精度と再現性を保証する高度な制御マシンを備えています。数値エラーは最小限に抑えられ、プロセス変数は密接に監視され、一貫性のために監視されます。また、より高精度な光学顕微鏡を搭載し、ウェハ加工の表面粗さと再現性をさらに向上させます。全体として、DFS8910は、優れた精度と再現性を備えた片面加工と両面加工を提供する大規模な工業グレードのウェーハ研削、ラッピングおよび研磨ツールです。機械の高度の制御資産は一貫した、精密なウェーハの処理を保障します；その堅牢なフレームは、過酷な産業環境での安定性と耐久性を保証し、その輸送モデルは、加工中にウェーハを確保し、均等に分配します。