中古 DISCO DFS 8910 #9215124 を販売中

ディスコDFS 8910は、ハイテク要件のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。効率的で柔軟かつ反復可能なプロセスを提供し、さまざまなアプリケーションに対応する高品質のウェーハを製造します。1つのシステムに複数の工程を組み合わせることにより、生産と品質保証のための最高レベルの効率と精度を提供するDISCO DFS8910。DFS 8910ユニットは、多段ウェハ研削、ラッピング、研磨プロセスに基づいています。このマシンは、最適化されたワークフローを提供するいくつかのコンポーネントで構成されています。研削、ラッピング、研磨機、ローディングステーション、脱脂機が含まれます。高性能に加えて、このツールは、さまざまなアプリケーションで優れたプロセス柔軟性を提供します。DFS8910資産の研削段階は、正確で反復可能な結果を得るためにCNC制御研削盤を使用しています。ニップリングのモデルは正確なギャップ制御および均一なウエハの端のプロフィールを保障します。この機械は、3段階のプロセスで研削、ラッピング、研磨を行い、プロセスパラメータを正確に制御します。さらに、この装置は研削およびラッピングステージに優れた集塵性を提供します。クリーニングステーションには、特別な集塵システムとウエハーの残留粒子を除去するイオン化エアナイフが装備されています。ディグリーザーは、クリーニングステーションの後にさらにウェーハをきれいにします。さらに、ディグリーザーは、粒子の汚染を低減し、ウェハの表面品質を向上させるのに役立ちます。ディスコDFS 8910は、包括的なプロセス監視とトレーサビリティを提供します。異なったタイプのウエハーのためにpreloaded標準的な調理法によって、単位は独特なプロセス条件を満たすためにカスタマイズすることができます。このマシンは、他のウェーハ処理システムとの統合もサポートしており、手動モードまたは自動モードの両方で使用できます。ディスコDFS8910は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための包括的なソリューションを提供します。優れたパフォーマンス、プロセスの柔軟性、および高品質のウェーハ生産のための堅牢なプロセス制御を提供します。さらに、カスタマイズ可能なレシピと自動プロセス制御により、効率、再現性、トレーサビリティが向上します。このツールは、複数のアプリケーションの高性能ウェーハの生産をサポートします。