中古 DISCO DFS 8910 #9196093 を販売中
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ID: 9196093
ヴィンテージ: 2013
System
Set up for copper planarization at small panel (100mm x 100m)
Includes:
Vacuum unit
Water temperature control unit (DTU152)
Uninterruptible power supply unit
Transformer for main unit and DTU for 208V 50Hz
Duct unit
Bar code reader
English manuals and setup jig
CE Marked
2013 vintage.
ディスコDFS 8910ウェハ研削、ラッピング、研磨装置は、ナノメートルレベルの精密表面処理を提供する包括的で多機能なデバイスです。このウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、ローボリュームと大量生産の両方に最適で、最大8インチのウェーハの要求に対応するように特別に設計されています。DISCO DFS8910は、生産性向上の製造環境において、さまざまなウエハタイプの精密表面処理を提供する高度な機能と機能を備えています。ウエハ研削、ラッピング、研磨の精度と再現性に優れたチャックステージを有しています。ラッピング/研磨ステージは、すべての標準ディスクホルダーと互換性があり、最大5000 RPMの調整可能な速度を提供し、カスタマイズ可能な研削、ラッピング、研磨プロセスを可能にします。ウェハ研削工程は、2°〜7°の切削角度を利用して、研削ウェハの表面仕上げに優れています。DFS 8910は、フロントパネルとサイドパネルをユニット自体に取り付け、ウェーハの取り扱いに役立つ人間工学に基づいた設計を採用しています。これは、効率的なオペレータがマシンにアクセスできるようにするだけでなく、技術者のための使いやすさを確保するのに役立ちます。さらに、このツールには、便利なウェーハ洗浄のためのオプションの機械的および化学的洗浄機能もあります。このデバイスには、オペレータや他の人員が資産の危険なレーザー放射線にさらされるのを防ぐ安全カバーも装備されています。DFS8910は便利な操作のためのタッチ画面のパネルを提供します。デジタル制御ボードは、一貫性と品質の向上を可能にします。さらに、プロセス全体で高品質を維持するために、処理されたウェーハの表面から欠陥を検出できる効果的な視覚検査装置も提供しています。全体として、ディスコDFS 8910は、生産環境の精度、再現性、生産性を向上させるために、高精度の研削、ラッピング、研磨システムを提供することができます。このユニットの多機能性、ユーザーフレンドリーなデザイン、安全機能により、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適です。
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