中古 DISCO DFP 8140 #9281537 を販売中

ディスコDFP 8140ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、幅広い基板上に高度な平坦面と踏面を生成することができる微細加工装置の高度な部分です。この機械は、2つの別々の研削工程、ラッピング工程および研磨工程を使用し、高品質の表面を作成するために多数の追加機能を使用しています。ロータリーテーブル、工具ステーション、ラッピング/研磨プレート、モーターで構成されています。ロータリーテーブルにはクローズドループサーボユニットを内蔵しており、正確な速度制御が可能で、毎回一貫した結果が得られます。テーブルの上にある工具ステーションには、研削、ラッピング、研磨ツールが収納されています。これらのツールは、調整可能な圧力と速度制御と組み合わせて、さまざまな複雑さの表面を生成する能力をユーザーに提供しますラッピング/研磨プレートは、研磨スラリーを適用することができる変更された表面プレートです。その後、このスラリーを使用して、目的の仕上げ品質に加工された基板をラップして磨くことができます。機械のモーターはACサーボモータで、毎分最大2000回転が可能で、0。01 RPM以内に正確な速度を得ることができます。このモータはクローズドループツールによって制御され、ユーザーは処理中の任意の時点で機械の速度を監視および調整することができます。アセットには多くの追加ツールが含まれており、表面処理の自由度を高めています。グルービングツール、洗浄スラリージェット、ダイヤモンド化合物、研磨パッドなどがあります。ディスコDFP8140ウェハ研削、ラッピング、研磨モデルは、高度なフラットおよびステップ表面生産のための包括的な微細加工環境を提供します。ロータリーテーブル、ツールステーション、ラッピング/研磨プレート、モーターの組み合わせは、さまざまな追加ツールとともに、実行される表面処理タスクを最大限に制御できます。高精度な速度制御により、DFP 8140は精密な再現性で高品質のサーフェスを作成します。