中古 DISCO DFM 2800 / DGP 8761 #9277917 を販売中

ディスコDFM 2800/DGP 8761は、単一の統合プラットフォームを備えたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、精密ウェーハの製造を可能にします。このシステムは、ウェーハの研削、ラッピング、研磨において、これまでにない高いレベルの性能、精度、再現性を提供します。この装置は、電気部品、光学部品、および微細機械部品に適した高精度な表面を生成するために、3段階の研削/ラッピングプロセスを採用しています。工程の最初の段階は研磨材でコーティングされた研削砥石です。これに続いて、バリや表面の不規則性を除去するために、ウェーハを2番目の細かい研磨剤にラップする回転プラテンを使用するラッピングステップが続きます。最終段階は滑らかな、光沢がある終わりを作り出すために特別に設計されている磨くブロックを利用します。DFM 2800には自動研削とラッピングプロセスが内蔵されており、オペレータはプロセスパラメータを素早く簡単に設定し、生産プロセスを監視できます。このマシンには、ウエハーの不正確さや欠陥を検出できるビジョンツールも含まれています。スピンドルの速度、動き、使用電力を正確に監視できるため、アセットの精度と再現性がさらに向上します。DGP 8761には、プロセスの精度と再現性をさらに向上させるいくつかの独自技術が含まれています。独自の研削砥石設計により、摩耗を最小限に抑え、グリット除去性を向上させながら、プロセス精度を向上させます。また、独自のピッチ制御ポリッシングホイール設計により、高精度で一貫した表面とエッジを生成します。DFM 2800/DGP 8761は、極めて精度と精度を必要とするウエハ基板の製造に最適なソリューションです。この装置は、より高いレベルの品質管理と再現性を可能にすることにより、ウェーハ生産による一貫した信頼性の高い結果を確保するための鍵です。