中古 DISCO DFG 8560 #9218113 を販売中

ディスコDFG 8560ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、精密マイクロマシニングで優れた性能を提供するように設計された多機能ツールです。新開発のラッピング・研磨工程を活用し、優れた表面平坦性と表面仕上げを実現します。このユニットは、半導体およびフラットパネルディスプレイ用途におけるウェハレベルの薄型化および研磨作業に最適なソリューションです。ディスコDFG8560は最先端のCNCサーボ制御機を備えています。これにより、高精度のラッピングと研磨のためのラッピング速度やその他のパラメータの確立に柔軟性を提供します。このツールは、ウェーハの2つの側面を同時に研削してラップするように設計されています。また、均一で優しく湾曲したエッジ半径を提供することができます。DFG 8560は、正確で安定した研削とラッピング速度を維持する堅牢なモータ制御アセットを備えています。これにより、研削およびラッピングプロセスの精度が向上します。ウェーハの両面をシングルパスで研削・ラッピングし、その後に別々の研磨パスを行います。また、ウェーハ材料の特性に基づいて使用される研磨圧力と研磨材料の量を自動的に調整することができます。DFG8560は特殊なラッピング材を採用し、高精度な研削とラッピングを実現しています。この装置は、ダイヤモンド、アルミナ、炭化ケイ素などの幅広い研磨剤と、ラッピングと研磨の両方のための研磨ベルトを使用しています。研磨ベルトは、最適なラッピングと研磨結果を生成するために調整可能です。統合されたウェーハおよびチャッククランプシステムは、直径6インチまでのウェーハを簡単かつ一貫したローディング用に設計されています。ディスコDGF 8560は、表面清浄性に優れた統合クリーニングユニットを備えています。洗浄工程は研削・ラッピング後に行われ、研磨前にウェーハ表面から粒子やホコリを除去すると言われています。さらに、このマシンは、安全で高効率な洗浄のためのプログラム可能な自動空気吹きを備えています。エアブローは、研削工具および研磨工具の前後洗浄にも使用できます。最後に、ディスコDFG 8560は、潜在的な危険からオペレータとマシンの両方を保護するために、緊急電源オフ・ボタンや安全カバーなどの安全機能を備えています。このツールは、生産ラインシステムに統合するために設計されており、そのユーザーフレンドリーな操作は、簡単なセットアップと操作を可能にします。この資産の耐久性と信頼性は、一貫した出力と優れた結果を提供します。