中古 DISCO DFG 8540 #9395420 を販売中

ディスコDFG 8540ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、半導体ウェーハに滑らかで平坦な表面を作成するために使用される高精度、自動化された工作機械です。このシステムは、異なるサイズと形状の広い範囲でタングステンから石英に任意の材料を処理することができます。ディスコDFG8540は高度な設計を備えており、セットアップ時間を最小限に抑えて迅速かつ正確に動作することができます。高精度で使いやすい研磨/研磨ヘッドを備えたスピンドルを内蔵し、0。5 μ m以下の平坦度を実現しています。さらに、ウェハスルーホールやプレート表面処理など、幅広い研削/研磨パッドやプロセスのバリエーションに対応できます。このマシンは、永久磁石ダイレクトドライブリニアモータを備えた5軸モーションコントロールを使用しており、高精度のステップモーションとダイナミック応答速度を提供します。さらに、このツールは3D研削と研磨制御に対応しており、オペレータは最大0。05〜μ mの精度で平面化を達成することができます。DFG 8540はまた、プロセス全体の制御に高解像度のデジタルフィードバックを提供するように設計された最適化されたCCDアセットを備えています。このモデルは、変位、平面高さの変位、表面粗さおよび丸みを測定することができます。また、ラッピングレートと研磨工程を最適化するための高速サーボドライブも備えています。また、ウエハフラット性DFG8540向上させる真空チャックを搭載し、従来の工程と比較してほんのわずかな時間で結果を出すことができます。全体として、DISCO DFG 8540は半導体ウェーハ上にほぼ完璧な表面を作成するための理想的なソリューションです。5軸モーションコントロール、高精度のステップモーション機能、最適化されたCCDシステムにより、最高の精度と精度を提供し、高速サーボドライブで比類のない速度と効率を提供します。