中古 DISCO DFG 8540 #9138237 を販売中
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販売された
ID: 9138237
Wafer back grinder
Workpiece : Silicon wafer
Sample wafer provision : with (200mm)
Wafer thickness :
o 8"mm wafer
Thickness after processing : 100um, 200um,150um
o 6" wafer
Thickness after processing : < =300um
Protective tape
Wheel selection (for Z1:fine grinding) : BT 300
Wheel selection (self-grinding) : Disco suggestion
Dresser board :
Z1 wheel : Part no : DISCO
Z2 wheel : Part no : DISCO
Default cassette setting : Open flow (transfer to opposite cassette)
Stage A:
8" A192-80M
8" double slot cassette
sample of cassette
Stage B:
8" A192-80M
8" double slot cassette
sample of cassette
Adjustable cassette setting 1:
open flow(transfer to opposite cassette)
Stage A:
6" A194-60MB
6" double slot cassette
Sample of cassette
Stage B:
6" A194-60MB
6" double slot cassette
sample of cassette
Default display language : English
Z1
Height gauge stroke : 1.8mm(max.)
Z2
Height gauge stroke : 1.8mm(max.)
Power voltage
Power frequency : 60Hz
Attached hose : 5M
Safty lables : English
Paint color:
Cream
Standard color (munsell#2.5GY8.0/0.5)
Black
Standard color munsell#N 2.4
Manuals:
First set : English (for standard specification)
Second set : English (for standard specification)
Transport parts :
6" to 8"
Optional accessories (included with shipment) : 8" dedicated transport parts
Optional accessories (Thin grinding specification) : 6" decicated, 8" dedicated
Chuck table : Universal (4" to 8")
Wafer size selection for universal chuck table: 5",6",8"
Double slot cassette for thinly ground waters :
6" dedicated double slot cassette
8" dedicated double slot cassette
Lifting jig set
Power cable for main unit : with (5m/transformer for main unit is used)
Site-side piping joints : Including water temperature control unit (DTU152)
Automatic setup function
Transformer for main unit CM:with (voltage: 220 V)
Water temperature control unit (DTU152) : with (English manual attached)
Transformer for water temperature control unit : with (voltage :220 V)
Power cable for water temperature control unit: with (5m/transformer for DTU152 is used)
Duct unit
Uniterruptible power supply unit
Vaccum maintance function
Equip 8" & 6" wf thin grinding necessary parts
8" wf parts with shipment for main product
Capacity : 5 m3/min
2010 vintage.
ディスコDFG 8540は、半導体および光学業界の最大要件を満たすように設計された、コンパクトで機能満載のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この堅牢なシステムは、高度な制御機能を備えており、0。1umまでの精度レベルを達成することができ、ナノ技術に最適なツールです。単位の主要な部品は粉砕および磨く頭部、粉砕版および本体フレームを含んでいます。研削ヘッドは、AccuForce-I研削ドライブモータによって駆動され、12,000rpmの最高速度で回転することができます。研削板にはダイレクトドライブモータを搭載し、最大10,000rpmの回転を可能にし、0。1umまでの再現精度を実現しています。本体フレームはすべての部品をしっかりと一緒に保つように設計され、すべての機械変数への容易なアクセスを可能にする統合されたコントロールパネルを特色にします。このツールには信号制御ソフトウェアパッケージが装備されており、アセットの容易な操作と研削および研磨プロセスのリアルタイム制御が可能です。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備え、研削および研磨状態をリアルタイムで表示します。後者は、プロセス全体を監視し、高品質の結果を維持することが容易になります。このモデルは、顧客データの保存と転送も可能で、共同プロジェクトに最適なツールです。最後に、DISCO DFG8540には、研削および研磨ヘッド用の二層保護ハウジング、および不正な人員が機器にアクセスするのを防ぐための安全扉など、いくつかの安全機能が装備されています。これらの機能と精度と信頼性を組み合わせることで、DFG 8540はウェーハ研削、ラッピング、研磨用途向けの信頼性の高いツールとなります。
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