中古 DISCO DFG 8540 #293605712 を販売中

ディスコDFG 8540は、プログレードウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハなどの高度な高精度・高効率研削、ラッピング、研磨用に設計されています。このシステムは、研削、ラッピング、および/または研磨テーブルにウェーハを供給するための自動フィーダを備えています。3種類の研削・ラッピング・研磨機能を備え、再現可能な精度と精度で最大8枚のウェーハを同時に加工することができます。このユニットは、研削、ラッピング、研磨プロセスの高い精度と一貫性を提供するように設計されています。自動送り装置には、研削、ラッピング、研磨テーブルを調整してウェーハを正確かつ一貫して処理する制御機械が含まれています。フィーダーはまた、最高の加工結果を確保するために研削深さ、研削送り速度、およびラップ/研磨圧力を制御します。研削テーブルは、高負荷下でも一貫した研削動作を提供するように設計された特別な研削工具が装備されています。テーブルは、優れたトルクと速度制御を提供するブラシレスモーターによって駆動されます。研削工具は、ウェーハの種類、研磨工具の負荷、または所望の研削表面品質に応じて調整可能な速度範囲（100〜12,000rpm）を備えています。また、研削盤には自動研削力制御を搭載しており、幅広い研削条件で正確な研削結果を得ることができます。ラッピングテーブルには、ラップフィード速度と可変研磨圧力を正確に制御するための可変速度ラップフィードドライブが装備されています。これにより、ラッピングに使用される研磨剤が均等に分布し、ラッピング面が平らなままです。このテーブルには、スムーズなラッピングプロセスを確保するための自動スローダウン安全機能も含まれています。研磨テーブルには、精密な研磨制御を提供する独立したモーターが装備されています。ラッピングテーブルは、ワークを中心に調整可能なサポートデバイス「tailstock」と、ワークの高さの違いを補うホールディングデバイス「headstock」の2つのパーツで構成されています。ヘッドストックは、ウェーハの表面全体に正しい研磨圧力が適用されることを確認するために調整可能です。ディスコのDFG8540は、汎用性と強力な研削、ラッピング、研磨ツールです。大型ウェーハから小型ウェーハまであらゆるサイズのウェーハを取り扱い、高精度で平坦で滑らかな表面を作り出すのに最適です。高度にカスタマイズ可能で、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御でき、最小の入力で優れた結果が得られます。