中古 DISCO DFG 840HS #9212149 を販売中
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ディスコDFG 840HSは、汎用性が高く、正確で高効率なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。ラボとインラインの両方の生産アプリケーション用に構築されたこの装置は、さまざまな膜厚と表面仕上げを備えた幅広いウエハ基板を処理するように設計されています。これは、異なるサンプル形状とサイズに対応するために可変高さ設計の大きな作業エリアを備えています。X、 Y、 Z軸の高精度リニアドライブは、優れたモーションコントロールを可能にし、時間のかかる手動調整を最小限に抑えます。このシステムは、高度な研磨機能を備えた強力な研削およびラッピング部品を統合しています。内側パッド研削法と外側リング研削法の2つの研削方法を提供し、同時にウェーハを研削および研磨することができます。高度なACサーボモータ技術により、環境負荷を最小限に抑え、高い一貫性と正確な研削性能を保証します。さらに、操作が簡単で直感的なディスプレイにより、加工の進捗状況を簡単に監視できるため、アプリケーションのニーズに応じてパラメータを簡単に調整できます。ディスコDFG 840 HSはまた、絶え間なく研磨およびシングルストローク研磨プロセスを使用して高効率な研磨機能を統合しています。この研磨方法では、1層の研磨だけが必要となり、スループットが向上し、ジョブ間の変更が最小限に抑えられます。シングルストローク研磨法により、精密に制御された研磨が可能で、大型基板の高精度研磨が可能です。DFG 840HSには、強力なCNCコントローラを含む最先端の機械制御プラットフォームが装備されており、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスの完全なリアルタイム監視およびデータトラッキングを提供します。内蔵のモーションコントロールユニットは、非常に閉じたループ制御ループを使用して高精度を実現し、データを素早く取得して共有し、分析とプロセス最適化を向上させます。このマシンは、さまざまなプログラム可能な安全機械機能を備えており、研削、ラッピング、研磨材料のユーザーの安全を確保します。全体として、DFG 840 HSは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に最適なツールです。その多目的な設計、高精度レベルおよび有効な安全対策はそれをいろいろ適用のための完全な適合にします。機械はそれをあらゆる生産ラインへの大きい付加にする最低の時間の優秀な結果を約束します。
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