中古 DISCO DFG 840 #9119556 を販売中

ディスコDFG 840（ディスコDFG 840）は、株式会社ディスコ・ハイテックが製造するウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。背面研削、ラッピング、研磨など、さまざまなプロセスのためのウエハ加工用に設計されています。このシステムは、ワークテーブル、研削ホイール、研磨パッド、および関連部品で構成され、さまざまな機能を実行します。ワークテーブルは、研削ホイールと研磨パッドを保護するためにハウジングに囲まれています。X-Y軸駆動機構を備え、ウェーハ加工時の正確な位置決めを可能にします。研削ホイールは、ウェーハ表面を研削するためにモーターで高速回転させる研磨タイプのホイールです。研磨パッドは、ウエハの研磨・仕上げ用に設計された特殊タイプのパッドです。それはさまざまなレベルの磨くことを提供するために調節することができます。動作時には、ワークテーブル上にウェーハを配置し、必要に応じてX-Y軸の動きを駆動してウェーハを配置します。その後、研削砥石を使用してウェーハ表面を研磨し、希望の形状を実現します。研磨パッドで加工を繰り返すことで、高い表面仕上げを実現しています。このユニットはラッピング操作にも使用でき、潤滑液で吊り下げられた研磨粒子を使用してウェハを滑らかにすることができます。ディスコDFG840は、プログラム可能な研削経路、オートフォーカス機能、ウェーハの厚さを測定および制御する機能など、さまざまな機能を提供します。また、より精密な加工のためのウェーハ回転や、ビデオ検査でプロセスを監視する機能など、オプションの機能も備えています。このツールは、フラットパネルディスプレイ、マイクロエレクトロニクス、MEMSプロセスなど、要求の厳しい重要なウェーハ処理に使用するために設計されています。全体として、DFG-840は幅広いウェーハ加工アプリケーションに適した堅牢で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング&研磨資産です。精密な位置決め、高速研削、自動化された機能を備えたこのモデルは、最も要求の厳しいウェーハ加工作業で一貫した信頼性の高い結果を提供するように設計されています。