中古 DISCO DAG 810 #9228239 を販売中

ディスコDAG 810は、汎用性の高い完全自動化されたクローズドループウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高度な半導体デバイス製造のニーズに応えるよう設計されており、表面仕上げと精度の高い大量生産が求められています。DISCO DAG810は専用のマシンプラットフォームを備えており、シングルテーブルデザインで最大8つのプロセスカセットを収容でき、それぞれ150個のウェーハを保持できます。これにより、複数のウエハサイズの高速シーケンシャル処理が可能になります。また、ウェーハを加工位置に正確かつ迅速に配置できるように、X軸とY軸の両方で直線運動を備えています。専用のダイヤモンド研削ホイール、プレート溝、研磨ディスクがDAG 810に搭載されているため、必要に応じて迅速かつ簡単に交換できます。研削工程に使用される研削砥石は、微細で滑らかな表面仕上げを実現するために独自に設計されています。溝の工具は機械の底に置かれ、ウェーハとドーパントの間の改善された接触のためのウェーハの表面の溝そして尾根を作成するのに使用されています。研磨プロセスで使用される研磨ディスクは、研磨面の仕上げを保証する優れた研磨特性を持っています。このツールのユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースにより、ユーザーは各プロセスのパラメータを簡単かつ便利に監視および制御できます。モニタリング資産は、プロセスパラメータに関するリアルタイムのフィードバックを提供し、最高の品質結果を保証するために迅速かつ正確な調整を可能にします。このモデルはまた、機器が常に最適なレベルで動作していることを保証する自己診断機能を提供します。DAG810は、最高水準の品質管理を維持し、最大限の柔軟性を提供しながら、迅速かつ正確なウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスを提供するように設計されています。このシステムは、さまざまなウエハサイズ、形状、および表面を効率的かつ正確に処理するための理想的なソリューションです。