中古 DISCO DAG 810 #293811449 を販売中
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ディスコDAG 810は、ドイツのDISCOTEK GmbH社が設計したウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。真空装置、圧力計、温度制御ユニット、統合冷却システムを内蔵し、低温研削、ラッピング、研磨プロセスを可能にします。単位の粉砕のメカニズムは回転縦シャフトに水平に取付けられる回転式テーブルに基づいています。基板ホルダーは回転運動によってウェーハを固定し、研削ヘッドのスピンドルに取り付けられた研磨ディスクは、調整可能な速度で表面を研削します。マシンのラッピングと研磨プロセスは、それぞれ375と420mmの直径を持つ2つのロータリーテーブルで構成されたプラテンを使用し、それぞれ異なる角度と深さを達成することができる8〜12の研磨ディスクを含みます。ラップ中、プラテンは水平に取り付けられ、研磨中は垂直に取り付けられます。ディスコDAG810は、片面研削と多面研削の両方で作業でき、最高速度、厳格な許容誤差、加工時間の短縮を実現します。また、圧力コントローラーを装備しており、ウェーハ表面に印加された圧力を正確に制御し、エッジの形状を正確に調整することができます。このツールは最大直径600mmまで動作するため、より大きなウェーハや基板の研削、ラッピング、研磨に最適です。DAG 810は操作とメンテナンスが簡単で、診断情報を提供し、自動的にステータスレポートを表示するユーザーフレンドリーな制御とディスプレイを備え、メンテナンスとセットアップ時間を短縮します。このアセットは、精密研削、ラッピング、研磨に優れた結果を提供することができ、セラミックス、半導体、磁性材料などの幅広い材料に最適です。
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