中古 DISCO DAG 810 #293804874 を販売中

ディスコDAG 810は、シリコンやその他の単結晶ウェハの両面で優れた表面品質を提供するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、8インチダブルサイドグラインダー/ポリッシャープラットフォームに基づいて非常に汎用性と構成可能な設計を備えています。ディスコDAG810は、高性能ダイヤモンドメッキ研削ホイールを備えた独自のデュアルアーム研削ユニットを採用し、優れたスループットと製品品質を実現しています。また、ディスコのフラッグシップBBCシリーズを含む専用のシングルサイドまたはダブルサイドのラッピング/ポリッシングヘッドを選択して、拡張可能なラッピング/ポリッシングプロセスを備えています。DAG 810ウェハ研削、ラッピング、研磨ツールは、高性能プラットフォーム内で高度な操作と監視機能を提供します。このアセットには、すばやく簡単に操作できる直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、最適な動作条件を確保するための組み込み温度監視モデルが含まれています。さらに、装置は、特定の条件下でウェーハの切断、積載、厚さの深さを制御することができ、ゲージや分析ツールを介してリアルタイムのプロセス監視を行うことができます。また、システムは非常に高速かつ効率的に設計されています。高精度の研磨ホイールに続いて、より高いスループットレベルと優れた表面品質を可能にする選択的なVプロセスを使用しています。さらに、DAG810は、最大のプロセス効率のために動作中にきれいな空気を確保するために、内蔵のほこり除去ユニットが付属しています。DISCO DAG 810には、ユーザーエラーやウェーハの配置ミスのリスクを低減する複数の統合安全機能も搭載されています。このマシンは、ウェーハ位置を自動的にキャプチャするビジョンベースの品質管理ツールを使用しており、両面研削誤差を防ぎながら、ウェーハの向きを手動で説明することを排除します。安全機能には、研削ホイール上のウェーハの存在を検出するセンサーや、使いやすい手動ステージも内蔵されています。ディスコ810ウェーハラッピングと研磨アセットは、信頼性が高くメンテナンスが容易なように設計されています。完全に自動化されたキャリブレーション機能を備えており、最適な研削および研磨性能、ならびに手動メンテナンスを最小限に抑えるための定期的な自己診断を保証します。