中古 DAITRON DBM-602R #9239639 を販売中

DAITRON DBM-602Rは、完全に自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェハレベルの光学系の生産において優れた性能を発揮するよう設計されており、さまざまな半導体製造プロセスで使用されています。その主な特徴は、正確に制御されたロータリーヘッドを備えた3軸CNC超精密モーションシステム、手動および自動ウェハマウント用の統合されたウェハチャックです。このユニットには、最大4つのカセットを収容する温度制御プロセスチャンバーもあります。このマシンは、最大8インチの直径のウェーハを研削、ラップ、研磨するように設計されています。20Nの最大研削力、19Nの最大ラッピング力、36Nの最大研磨力を備えており、3つのプロセスを正確に制御できます。このツールには、高精度で再現性の高いDCモーターサーボ制御アセットが装備されています。このモデルは、プロセス内の各ウェーハの正確なアライメントを可能にする自動ウェーハ転送装置を備えています。また、統合されたプロセス監視システムを通じて、研削、ラッピング、研磨プロセスの進捗状況を正確に監視することができます。このユニットには、各アプリケーションに合わせて研削、ラッピング、研磨プロセスを調整するさまざまなプロセスパラメータが付属しています。また、ウェーハの事故や損傷を防ぐために、さまざまな安全機能を備えています。その透明なフードは、オペレータがプロセスを監視しながら、同時に空気中の汚染物質からプロセスチャンバーを保護することができます。このツールはまた、潜在的な怪我や損傷を防ぐために保護シールドとパッドの数を備えています。さらに、音声アラームと警告アラートをトリガーして、異常な状態や問題をユーザーに知らせることができます。DBM-602Rは、複数の半導体製造アプリケーションで実績のある信頼性と高度な資産です。精密で制御可能で自動化された操作により、高品質のウェハレベルの光学系の製造に最適なソリューションです。