中古 DAITO Y1000 #9120571 を販売中
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ID: 9120571
ヴィンテージ: 1985
Lapping system
Plate size: 1000 mm
(4) Cylinder head type
1985 vintage.
DAITO Y1000は、優れた表面仕上げと精度を実現する汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。汎用性の高い設計と高い精度により、CMPやフォトマスク加工など、さまざまな半導体アプリケーションに最適です。このシステムは、直径8インチまでのウェーハ処理が可能です。強力な研削ヘッドと高精度スピンドルを備えており、精度と再現性を確保しています。研削ヘッドは、ウェーハ基板を損傷することなく高い在庫除去率を提供できるダイヤモンド研磨ホイールを使用しています。また、振動減衰特性に優れており、より高いRPMでの高速研削が可能です。また、高度なラッピングと研磨を容易に行うことができます。その高度なラッピング機能は、ウェーハ表面に低圧制御された圧力を適用して表面の凹凸を低減する後研削プロセスで構成されています。この技術は、ウェハのopto-mechanical特性を向上させ、寸法安定性を高めるのにも役立ちます。また、イオンミリング、イオンインプラント、化学機械研磨(CMP)などの専用技術を組み合わせることで、ウエハ表面を鏡面仕上げにすることも可能です。Y1000の機能は、熱酸化、エッチング、電気めっきなどのオプションのプロセスを使用してさらに拡張することができます。自動化されたプロセスにより精度が向上し、製品の欠陥を軽減します。直感的なユーザーインターフェイスにより、迅速かつ簡単にプログラムできます。DAITO Y1000は、高精度と高精度を必要とするさまざまな半導体製造アプリケーションに最適なツールです。直感的なユーザーインターフェイスによりユーザーフレンドリーになり、多彩なプロセスと機能により優れた結果が得られます。
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